Cos'è una barca SiC e quali sono i suoi vari processi di produzione?

1. I diversi processi produttivi diBarca SiC

(1) Rivestire uno strato diPellicola SiCsulla superficie della grafitebarche di cristallotramite CVD

Questo tipo di barca ha un nucleo in grafite, lavorato in un unico pezzo. Tuttavia,la grafite è porosae incline alla generazione di particelle, richiedendo l'applicazione di aRivestimento in pellicola SiCsulla sua superficie. A causa della mancata corrispondenza del coefficiente di dilatazione termica (CTE) tra il corpo in grafite e ilPellicola SiC, è probabile che il rivestimento si stacchi dopo molteplici cicli di riscaldamento e raffreddamento, provocando la contaminazione da particelle. Queste barche sono le meno costose e hanno una durata di circa un anno.

(2) Rivestire uno strato diPellicola SiCsu ricristallizzatoBarchette in cristallo SiC

RicristallizzatoBarche in SiCsono anche porosi e possono facilmente generare particelle. Pertanto, i singoli componenti del ricristallizzatoBarche in SiCdeve essere preformato, sinterizzato e quindi lavorato separatamente. Successivamente, i componenti vengono legati insieme ad alte temperature utilizzando pasta di Si. Una volta assemblato in un'unica barca, aPellicola SiCviene applicato tramite CVD. Questo si è ricristallizzatoBarca in SiCha il processo di produzione più lungo ed è costoso, ma la superficieRivestimento CVDpuò anche danneggiarsi, con una durata di circa tre anni.

(3)MonoliticoBarchette in cristallo SiC

QuestiBarchesono interamente composti da materiale SiC. La polvere di SiC deve essere modellata e sinterizzata per dare la forma di una barca monolitica. Estremamente costosi, sono molto durevoli e hanno meno probabilità di generare particelle. Tuttavia, queste imbarcazioni contengono il 10-15% di silicio libero, che è suscettibile all'erosione da parte di fluoro e cloro, con conseguente contaminazione da particelle.

2. Perché il lavaggio a secco non è consigliato?

In sintesi, perBarche in SiCrivestito con aFilm SiC tramite CVD, il rivestimento superficiale tende a staccarsi durante il lavaggio a secco, provocando la contaminazione da particelle. Per monoliticoBarche in SiCche contengono una piccola quantità di silicio libero, l'esposizione a gas contenenti fluoro o cloro può portare all'erosione e alla generazione di particelle, causando così contaminazione.**