Cosa sono le pagaie a sbalzo?

Durante la lavorazione dei wafer semiconduttori, vengono utilizzati forni specializzati per riscaldare i wafer. Questi forni contengono tubi cilindrici allungati dove i wafer vengono posizionati su contenitori per wafer in posizioni predeterminate ed equidistanti. Per garantire che l'apparecchiatura di lavorazione non sprechi i wafer e resistere alle condizioni di lavorazione all'interno della camera, le vaschette per wafer e altri dispositivi utilizzati nella lavorazione dei wafer sono fabbricati con materiali come il carburo di silicio (SiC).

Le wafer boat, caricate con un lotto di wafer da lavorare, sono posizionate su lunghe pale a sbalzo. Queste pale possono essere inserite e ritirate dai forni tubolari e dai reattori. Le pagaie sono costituite da una sezione di supporto appiattita che può contenere una o più barche e da una lunga maniglia situata a un'estremità della sezione di supporto appiattita per una facile movimentazione.

Per ottenere i migliori componenti nella lavorazione dei semiconduttori, si consiglia di utilizzare una pala a sbalzo in carburo di silicio ricristallizzato con uno strato sottile di SiC CVD. Questo materiale è di elevata purezza ed è la scelta migliore per tali componenti.

Semicorex realizza palette cantilever personalizzate con rivestimento SiC CVD di alta qualità. Se hai domande o hai bisogno di ulteriori dettagli, non esitare a contattarci.

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