Feltro di rivestimento in carbonio vetroso

Il rivestimento di carbonio vetroso Semicorex funge da strato di isolamento interno nei reattori epitassiali in carburo di silicio. È un materiale di isolamento ad alte prestazioni progettato per ambienti termici avanzati. Questo prodotto supera le tipiche sfide di produzione ad alta temperatura a semiconduttore offrendo soluzioni superiori a causa delle sue proprietà di isolamento termico leggero ed eccellenti diFelimento della grafite, unito all'integrità della superficie e all'inerzia chimica impartita da un rivestimento in carbonio vetroso.

Il materiale di base è un'alta purezzaFelimento della grafiteha scelto la sua bassa conducibilità termica ad alta temperatura e il peso leggero. Il feltro di grafite normale di solito ha lo spargimento di fibre superficiali e la generazione di particelle a temperature elevate che possono contaminare l'ambiente di processo in sistemi epitassiali sensibili. Per mitigare questo problema, la superficie del feltro di grafite è uniformemente rivestita con uno strato di carbonio vetroso: una forma densa e non porosa di carbonio nota per la sua inerzia chimica, bassa permeabilità al gas e eccezionale stabilità termica.

Il carbonio vetroso è un carbonio non grafitizzato che combina le proprietà del vetro e della ceramica. Contrariamente alla grafite cristallina, si tratta di un materiale di carbonio ibridato a SP2 amorfo, quasi 100%, che è formato da sinterizzazione ad alta temperatura di precursori organici polimerizzati, come resina fenolica, resina alcolica furfurile, ecc., In un'atmosfera a gas inerte. Poiché è nero in tutto e ha una superficie liscia simile al vetro, si chiama carbonio vetroso.

Il rivestimento in carbonio vetroso può eliminare la generazione di particelle di fornace, fornire pori di superficie sigillati, avere eccellenti proprietà di demoli e ridurre la permeabilità, rendendo questo materiale molto adatto per stampi e prodotti di colata continua nel settore dei semiconduttori. Questo materiale ha una vasta gamma di applicazioni nel settore dei semiconduttori, in particolare in parti di grafite come componenti delle apparecchiature di trazione a silicio a singolo cristallo, componenti di crescita epitassiale, stampi a fusione continua, maschere di tenuta in vetro, ecc.

Il carbonio vetroso ha una resistenza ad alta temperatura fino a 3000 ° C in gas inerte o sotto vuoto e, a differenza di tutti gli altri materiali ceramici e metallici ad alta temperatura, la resistenza del carbonio vetroso aumenta con l'aumentare della temperatura fino a 2700k e non diventa fragile e ha una resistenza di shock termica estremamente elevata, quindi un breve riscaldamento e i tempi di raffreddamento non sono problemi. Inoltre, il carbonio vetroso ha una massa bassa, un basso assorbimento di calore e una bassa espansione termica, quindi è adatto a quasi tutte le applicazioni ad alta temperatura.

Il rivestimento in carbonio vetroso svolge un ruolo cruciale nella sigillazione dei pori di superficie del feltro di grafite, riducendo significativamente il rilascio di particelle e polvere di carbonio durante il funzionamento. Ciò è particolarmente critico nei processi di crescita epitassiale SIC, in cui anche una contaminazione minima può compromettere la qualità del wafer e le prestazioni del dispositivo. Incapsulando la struttura porosa del feltro con un guscio di carbonio vetroso liscio e duro, il rivestimento garantisce un ambiente termico pulito e stabile all'interno della camera di reazione.

Vantaggi chiave del feltro di rivestimento in carbonio vetroso includono:

Riduzione di particelle: il rivestimento denso si blocca efficacemente in fibre e particelle sciolte, prevenendo la contaminazione di wafer e componenti del reattore.

Elevata stabilità termica: sia il feltro di grafite che il carbonio vetroso possono resistere a temperature superiori a 2000 ° C nelle atmosfere inerte o sottovuoto, rendendo il prodotto ideale per i processi SIC ad alta temperatura.

Inertezza chimica: la superficie del carbonio vetroso è resistente alla maggior parte degli acidi e ai gas corrosivi, estendendo la vita operativa dello strato di isolamento in condizioni difficili.

Copia di processo migliorata: la generazione di particelle ridotte al minimo contribuisce a un ambiente di crescita epitassiale più stabile e ripetibile, che è essenziale per produrre wafer SIC di alta qualità.

Le applicazioni del rivestimento vetroso in carbonio si estendono principalmente ai forni di crescita epitassiale SIC, dove viene utilizzato come strato di isolamento termico all'interno della zona calda. Il prodotto è in genere installato come materiale di rivestimento nelle pile di isolamento superiore o inferiore, dove fornisce sia la protezione termica che la sicurezza della pulizia.