Braccio ceramico di allumina

Il braccio in ceramica di allumina Semicorex è un componente ingegnerizzato che viene sviluppato alle più alte specifiche per le applicazioni a semiconduttore. Realizzato in allumina di alta purezza (Al₂o₃), è un braccio robotico che presenta una combinazione unica di resistenza meccanica, stabilità termica e resistenza chimica. Il braccio non è progettato solo per essere utilizzato per la gestione dei wafer da solo, ma deve anche fornire supporto al processo in siti di fabbricazione avanzata. Deve inoltre garantire che i wafer vengano trasferiti, posizionati ed elaborati senza contaminazione o danno; Migliorare i rendimenti e l'affidabilità del processo.

Aluminaè una delle ceramiche tecniche che trova l'uso più ampio nel campo della ceramica tecnica. L'allumina è nota per la sua durezza, resistenza all'usura e stabilità in ambienti aggressivi. Affinché gli obiettivi del braccio ceramico gestiscano la gestione dei wafer senza introdurre la contaminazione, può sfruttare le proprietà dell'allumina e fornire un livello molto più elevato di resistenza all'abrasione a seguito della sua elevata purezza e dimensione delle particelle; Pertanto, non genererà particelle eccessive durante i suoi movimenti ripetuti, né con wafer né con substrati a semiconduttore di qualsiasi altro tipo.  La densità e la bassa porosità che ospita limitano ulteriormente il potenziale delle particelle che si rompono e si assicura che soddisfi le esigenze ultra-pulite dei Fab per lo sviluppo dei semiconduttori senza sminuire la pulizia richiesta per la gestione dei dispositivi di sottomicroni.

AluminaPossede un'eccezionale stabilità termica oltre alla sua resistenza meccanica. Il braccio ceramico di allumina può sopportare temperature di processo estreme senza deformare, cracking o perdere forza. Questa proprietà lo rende ideale per l'incorporazione in qualsiasi fase di processo che include l'esposizione a temperature elevate, come la diffusione, l'ossidazione o le fasi di ricottura. I wafer avranno una migliore affidabilità per il trasferimento in un ambiente di processo impegnativo in quanto mantiene l'integrità meccanica nell'ambito del ciclo termico.

La resistenza chimica è un altro positivo fondamentale del braccio ceramico di allumina. Nella produzione di semiconduttori, i trattamenti vengono spesso eseguiti su wafer che includono acidi forti, alcali e altri prodotti chimici aggressivi. Mentre i componenti metallici possono corrodere o lisciviazione, l'allumina è chimicamente inerte, che protegge l'integrità sia del braccio che dei wafer che gestisce. Pertanto l'inertezza prolunga la durata della vita del componente riducendo la possibilità di contaminazione durante le fasi di processo critiche come la pulizia a umido o la deposizione di vapore chimico.

Il braccio in ceramica di allumina è progettato con particolare attenzione alla compatibilità e alla precisione. Ogni braccio viene realizzato su tolleranze dimensionali strette, garantendo un allineamento accurato del wafer, movimento e compatibilità con attrezzature automatizzate di movimentazione dei wafer e sistemi robotici. La finitura superficiale liscia e lucidata presenta un'interfaccia a basso attrito con il wafer che riduce la possibilità di graffiare il wafer, che è essenziale per l'integrità del wafer/pulizia ambientale e riduzione della velocità di difetto. Queste tolleranze ingegnerizzate assicurano che il braccio funzioni liberamente in un ambiente di throughput ad alto ritmo e consente flussi di lavoro a semiconduttore sia umani che completamente automatizzati per il braccio.

Il braccio in ceramica di allumina va oltre le semplici prestazioni chimiche e meccaniche e gli impatti sull'efficienza operativa e il risparmio sui costi a più livelli. La natura comprovata duratura della ceramica consente al braccio di sovraperformare i materiali compositi come materie plastiche o alluminio in termini di longevità di progettazione in base al carico meccanico ripetitivo e quindi riduce la quantità di tempi di inattività operativi e/o costi di sostituzione coinvolti. La capacità di resistere a ambienti difficili include la pulizia ambientale, producendo anche meno interruzioni di produzione che portano a una migliore produzione di wafer costante, cioè resa, e in definitiva meno rottami che portano a un ROI più elevato (ritorno sugli investimenti) per i produttori di semiconduttori.

Le opzioni per utilizzare ilCeramica di alluminaIl braccio per i processi di semiconduttore è praticamente infinito: dallo spostamento di wafer tra panche bagnate, forni di diffusione e camere di deposizione agli strumenti di ispezione e metrologia che utilizzano substrati. La versatilità di questo prodotto non solo consente di essere utilizzato per le applicazioni di gestione dei wafer, ma sono anche necessarie ulteriori situazioni di automazione in cui sono necessarie accuratezza, pulizia e affidabilità. L'industria dei semiconduttori si sta muovendo inesorabilmente verso nodi più piccoli e una maggiore complessità all'interno della fabbricazione dei dispositivi e, mentre l'industria continua a richiedere una migliore gestione di soluzioni affidabili e non contaminanti, il braccio robotico ceramico crea un chiaro percorso in avanti.