Anello superiore Epi da 8 pollici

L'anello EPI Semicorex da 8 pollici è un componente specializzato dei sistemi di deposizione epitassiale (EPI) che forniscono prestazioni elevate come l'anello di copertura superiore sulla camera di reazione. Con un focus sull'integrità strutturale e sulla stabilità termica durante la crescita epitassiale dei wafer a semiconduttore, l'anello superiore EPI è realizzato in grafite ad alta purezza e rivestito con carburo di silicio (SIC) per resistere alla temperatura e agli ambienti chimicamente reattivi della produzione di semiconduttori.

Nei reattori epitassiali, l'anello superiore aiuta a trattenere l'ambiente di wafer e svolge un ruolo importante nell'uniformità della temperatura e nel flusso di gas durante la deposizione come parte del gruppo suscettore. Il rivestimento SIC sul substrato di grafite fornisce all'anello superiore EPI la stabilità termica e l'ambiente inerte richiesto per proteggere il nucleo di grafite a causa dell'esposizione ai processi dei gas durante le prestazioni dell'anello superiore EPI (idrogeno, silano, clorosilani, ecc.). La durezza e la conduttività dello strato SIC migliorano le prestazioni dell'anello superiore EPI prevenendo il degrado e consentendo strati più stabili durante il ciclo di produzione.

Con un impegno per la precisione dimensionale, la coerenza del rivestimento e la ripetibilità, l'anello superiore EPI da 8 pollici è prodotto con ingegneria di precisione. Il substrato di grafite è lavorato a tolleranze strette e purificato termicamente per separare le impurità, fornendo un substrato pulito con eccellente purezza e forza. Il rivestimento SIC viene applicato attraverso la deposizione di vapore chimico (CVD), per formare uno strato protettivo denso, coerente e fortemente legato. Questo processo minimizza la generazione di particelle e consente al rivestimento di mantenere l'integrità della superficie durante l'uso esteso.

I produttori di semiconduttori si basano sull'anello superiore EPI per mantenere i parametri della camera critici e supportare wafer privi di difetti durante la produzione. La configurazione è progettata per l'uso con i principali sistemi di elaborazione del wafer da 8 pollici OEM. Le opzioni personalizzate sono disponibili per spessore, finitura superficiale e progetti scanalati per una migliore gestione termica o persino distribuzione del gas.

Conformare le proprietà della grafite rivestita SIC per questa applicazione prende la combinazione il meglio delle proprietà da entrambi i materiali; La grafite è molto macchinabile e ha una resistenza agli shock termici combinata con carburo di silicio che è più difficile, resistente alla corrosione e ha una durata più lunga. Questa combinazione alla fine offre un anello superiore EPI che è affidabile ad alta temperatura e garantisce un ambiente di elaborazione pulito e stabile che riduce gli intervalli di manutenzione e fornisce tempo di attività complessivo delle apparecchiature.

I componenti della grafite svolgono un ruolo indispensabile e cruciale nella produzione di semiconduttori. La qualità del materiale di grafite influisce in modo significativo sulla qualità del prodotto finito. La nostra coerenza in batch di grafite e omogeneità del materiale sono controllate e garantite durante il processo di produzione.

1.Small-batch Production, utilizzando un piccolo forno di carbonizzazione con una capacità di soli 50 metri cubi.

2. Ogni pezzo di materiale viene monitorato e monitorato.

3. Il monitoraggio della temperatura in più punti all'interno del forno garantisce differenze di temperatura minime.

4. Il monitoraggio della temperatura in più punti sul materiale garantisce differenze di temperatura minime.

L'anello Top EPI da 8 pollici di Semicorex offre prestazioni eccezionali, coerenza da batch-to-batch e una comprovata affidabilità nei più difficili processi di epitassia epitassia a semiconduttore a semiconduttore composto o altri processi di epitassia a semiconduttore composto. In ogni fase di produzione, produciamo prodotti con controllo di qualità, il che significa che ogni prodotto acquistato per l'industria dei semiconduttori supera le specifiche di qualità.

Seleziona l'anello EPI da 8 pollici di Semicorex per la tua applicazione epitassia per sfruttare le possibilità offerte attraverso ingegneria di precisione, materiali superiori e personalizzazione specifica dell'applicazione per migliorare i rendimenti e le prestazioni del dispositivo.