Wafer Edge Grinding Chuck

La macinatura del bordo del wafer Semicorex è una parte ceramica dedicata realizzata per il processo di macinazione del bordo del wafer durante la produzione di semiconduttori. La ceramica è composta da elevata purezza, allumina bianca (al₂o₃) con resistenza meccanica, resistenza chimica e stabilità dimensionale per supportare il processo di macinazione del wafer. Poiché le nuove tecnologie richiedono diametri di wafer più grandi e strutture più delicate nei dispositivi, la macinazione del bordo del wafer ora svolge un ruolo significativo nella prevenzione di scheggiature, micro-cracking e resa. Il mandrino della macinatura in ceramica allumina fornisce una base costante su cui soddisfare questi rigidi requisiti di produzione.

Ceramica di alluminaè usato come materiale di costruzione a causa delle sue incredibili proprietà fisiche, chimiche e termiche. L'allumina bianca ha una durezza eccezionale con solo il diamante, che si colloca più in alto sulla scala della durezza MOHS, che consente al mandrino della macinazione di resistere all'usura e all'abrasione nel prossimo futuro con un uso ripetitivo. Data la notevole resistenza meccanica dell'allumina, il wafer può essere afferrato e mantenuto in modo sicuro, mentre la rigidità dell'allumina non consente la distorsione o la deformazione quando è applicato il carico alla parte. Detto questo, l'allumina è una scelta eccellente per produrre apparecchi e supporti in cui sono necessarie precisione e durata.

La stabilità termica è anche un tratto distintivo della ceramica di allumina. Con un punto di fusione superiore a 2000 ° C e stabilità di shock termico, il mandrino può funzionare in condizioni in cui può avvenire il riscaldamento per attrito o il cambiamento di temperatura, è coerente quando la stabilità dimensionale è fondamentale sebbene la forma del bordo di macinazione possa impartire un po 'di variazione di dimensione. La forza di serraggio rimane forte per mantenere costantemente l'allineamento nella rettifica dei bordi. La bassa conduttività termica dell'allumina non dovrebbe consentire al riscaldamento localizzato di riscaldare abbastanza il wafer per qualsiasi compromesso dell'integrità del wafer nell'elaborazione di delicati substrati semiconduttori.

Dal punto di vista chimico, la ceramica di allumina ha poca reazione ad acidi, alcali e agli ambienti plasmatici dell'elaborazione dei semiconduttori. A differenza dei Chucks metallici che possono corrodere o apparecchi polimerici che possono continuare a degradarsi senza monitoraggio esplicito, la ceramica di allumina è immune a questi cicli di servizio quotidiani nell'elaborazione dei semiconduttori. Questa inerzia garantirà zero contaminazione della superficie del wafer e manterrà la purezza del processo limitando eventuali perdite di resa.

Nel panorama di produzione di semiconduttori di oggi, il processo di rettifica dei bordi è multifonte: prepara il wafer per la successiva elaborazione e offre anche trasporti, maneggevoli e integrazione sicuri ai più avanzati strumenti di litografia e incisione. In questo, il mandrino della macinazione del bordo del wafer è un pezzo importante del puzzle di attaccare il wafer in modo sicuro, contenere accuratamente e contribuisce direttamente all'affidabilità del wafer e alle prestazioni del prodotto. Con l'investimento in ceramica di allumina, il tempo viene risparmiato avendo la longevità estesa di tale attività per limitare i tempi di inattività, ridurre i costi delle parti e massimizzare l'efficacia delle attrezzature (OEE).

Il branding bordo del wafer ha fattoCeramica di alluminaRappresenta tutti i vantaggi della scienza dei materiali sofisticati e dell'ingegneria di precisione. Esemplifica le qualità di durezza, resistenza all'usura, stabilità termica e inerzia chimica necessarie per il processo di fabbricazione del wafer di semiconduttore. Le prestazioni robuste possono portare a una qualità affidabile del bordo del wafer, una buona resa e una durata delle attrezzature estese. Per i produttori di semiconduttori impegnati in una precisione ed efficienza impeccabili, la soluzione di macinazione del bordo del wafer di allumina è la soluzione.