Barche verticali con wafer al quarzo

Nei processi di produzione dei semiconduttori, i componenti dei semiconduttori nella camera di reazione devono soddisfare severi standard di pulizia elevata. Altrimenti, anche le impurità o i contaminanti su scala microscopica o nanometrica possono causare danni irreversibili alle prestazioni e alla resa dei dispositivi a semiconduttore.

Barchette in wafer di quarzosono comunemente installati verticalmente in camere di reazione ad alta temperatura come forni di diffusione, forni di ossidazione e forni di ricottura, dove devono essere a diretto contatto con i wafer. Le barchette wafer al quarzo verticali di Semicorex sono prodotte con materiali di quarzo di elevata purezza per soddisfare questi requisiti di elevata pulizia. Questa saggia selezione dei materiali evita efficacemente la contaminazione dei wafer causata dai reagenti rilasciati dalle vaschette dei wafer durante il processo di produzione.

Nella produzione di semiconduttori, i contenitori per wafer devono non solo sottoporsi a ripetuti cicli di riscaldamento-raffreddamento, ma anche resistere alla corrosione dei gas di processo per periodi prolungati. Il quarzo verticale di Semicorexwaferle barche mostrano un'eccezionale stabilità dimensionale nelle difficili condizioni operative di ciclo termico costante a causa della loro stabilità termica intrinseca. Queste proprietà termiche superiori prevengono in modo significativo la deformazione del wafer e i danni causati dal degrado della precisione o dalla deformazione strutturale delle imbarcazioni verticali del wafer al quarzo. Inoltre, grazie alla loro elevata inerzia chimica, le navicelle verticali in wafer di quarzo possono essere resistenti alla reazione con gas corrosivi come ossigeno, vapore acqueo, acido cloridrico e ammoniaca. Questa proprietà riduce notevolmente la possibilità che la corrosione chimica comprometta l'integrità strutturale delle imbarcazioni verticali con wafer al quarzo.

Oltre ai vantaggi prestazionali sopra menzionati, le imbarcazioni wafer al quarzo verticali di Semicorex dimostrano anche un’eccellente competitività nella precisione dimensionale e nella progettazione strutturale. Ciascuna parte di essi è prodotta mediante tecniche di lavorazione di precisione. Questo controllo dimensionale preciso garantisce un posizionamento accurato del wafer, riducendo al minimo graffi e crepe causati da spostamenti o collisioni durante il caricamento, la lavorazione e lo scarico.