Cassette di teflon

Le cassette di teflon Semicorex sono trasportatori di wafer ad alte prestazioni specificamente progettati per l'uso in ambienti chimici esigenti in cui sono essenziali la purezza, la resistenza chimica e la stabilità termica. Realizzati in politetrafluoroetilene (PTFE) di alta purezza, queste cassette sono ampiamente utilizzate nella produzione di semiconduttori, nell'attacco a umido, nella pulizia chimica e altre applicazioni in cui l'esposizione a sostanze chimiche altamente aggressive è di routine. La loro natura non reattiva li rende ideali per la gestione di delicati substrati come wafer di silicio, pannelli di vetro e altri componenti di precisione senza introdurre contaminazione o particolati nel processo.

In vari processi di produzione di semiconduttori, come la litografia, l'attacco e l'impianto di ioni, le cassette svolgono un ruolo nel trasporto e nel trasferimento di wafer tra diversi dispositivi. Diverse apparecchiature di processo possono avere requisiti di interfaccia diversi per le cassette per garantire che i portatori di wafer possano essere accuratamente ricevuti e posizionati.

Dal punto di vista del materiale e del design, i materiali resistenti al calore, hanno eccellenti proprietà meccaniche, stabilità dimensionale e sono generalmente utilizzati durevoli, antiastatici, bassi esplosioni, basse precipitazioni e riciclabili. Diverse dimensioni dei wafer, nodi di processo e processi utilizzano materiali diversi. I materiali generali sono PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP, ecc.

Le cassette di teflon offrono una resistenza chimica superiore in ambienti usando acido idrofluorico, acido nitrico, acido solforico e altri corrosivi forti. A differenza dei materiali convenzionali come il polipropilene o l'acciaio inossidabile, PTFE non si degrada; non si gonfia; non si lascia sostanze nei bagni chimici aggressivi. Le prestazioni sono quindi garantite per lunghi periodi e quindi l'affidabilità delle cassette per le linee di produzione ad alto rendimento e gli ambienti ultra-puliti. La sua robustezza significa minori esigenze di manutenzione e frequenza di sostituzione, riducendo così i costi operativi a lungo termine.

Le cassette di teflon dimostrano una stabilità termica molto elevata. Possono facilmente resistere alle temperature da -200 ° C a +260 ° C, applicabili per i processi criogenici e ad alta temperatura. Anche collocate in camere di asciugatura riscaldate o bagni chimici freddi, le cassette non perdono la loro resistenza strutturale; Non si deformano o si rompono, garantendo che i wafer rimangano in sicurezza durante la lavorazione. Questa resilienza alla temperatura contribuisce in modo significativo al controllo del processo e all'uniformità, che sono fondamentali per la fabbricazione di semiconduttori e MEMS.

Una caratteristica altrettanto importante delle cassette di teflon è la sua superficie antiaderente inerte. PTFE intrinsecamente non consente l'adsorbimento di particelle e residui chimici, riducendo quindi i rischi di contaminazione in ambienti di camera pulita. Questo deve essere accoppiato con una finitura superficiale liscia che consente il risciacquo facile e l'asciugatura rapida, quindi i risultati più puliti e i tempi di ciclo più rapidi. Nella lavorazione dei semiconduttori, dove i difetti possono essere causati anche da contaminanti microscopici, questo livello di inerzia di pulizia e sostanza chimica è obbligatoria.

Ogni cassetta viene accuratamente realizzata a tolleranze di dimensioni strette, garantendo un allineamento e spaziatura costante di wafer mentre viene mossa e posizionata in liquido. La loro forma facilmente progettata aiuta a un flusso chimico rapido e drenaggio, che accelera i tassi di cambio chimici e migliora l'uniformità di pulizia o attacco sulla superficie del wafer.  Le cassette sono disponibili in dimensioni standard per wafer da 4 pollici, 6 pollici e 8 pollici, con opzioni di personalizzazione disponibili per adattarsi a dimensioni specifiche del substrato, conteggi di slot e requisiti di gestione.

Progettati per la compatibilità con panche bagnate automatizzate e sistemi di manipolazione dei wafer robotici, le cassette di teflon si integrano facilmente nella maggior parte delle configurazioni di produzione di semiconduttori. La loro robusta costruzione e finitura in camera pulita soddisfano le rigorose esigenze degli ambienti certificati ISO. Tutte le cassette subiscono un'ispezione approfondita e sono precise in acqua ultra-pura per soddisfare gli standard di pulizia richiesti per la produzione avanzata di microelettronica. I certificati di conformità e la tracciabilità del materiale completo possono essere forniti per garantire la conformità ai protocolli di garanzia della qualità.