Anelli guida rivestiti in carburo di tantalio

Gli anelli guida sono generalmente installati sopra il crogiolo di grafite all'interno del sistema del campo termico. Funzionano insieme al crogiolo, al riscaldatore, al cilindro di isolamento termico e ad altri componenti semiconduttori per guidare e controllare la distribuzione del calore e dei gas di processo.

L'Avantaggidi tRivestimento in carburo di antalio

Rinomato per le prestazioni superiori diRivestimento TaCnelle applicazioni di crescita di semiconduttori monocristallini di terza generazione, il rivestimento in carburo di tantalio offre i seguenti vantaggi:

1. Eccezionale stabilità termica

Il carburo di tantalio presenta un'eccellente resistenza termica, con un punto di fusione ultraelevato di 3880 ℃. Grazie a questa eccezionale stabilità termica, gli anelli guida rivestiti in carburo di tantalio Semicorex possono essere utilizzati stabilmente in ambienti ad alta temperatura inferiore a 2500 ℃. Inoltre, la combinazione di questi due materiali riduce al minimo i rischi di screpolature e desquamazioni del rivestimento causate da variazioni di temperatura, il che migliora significativamente l'integrità strutturale del componente durante ripetuti processi di riscaldamento e raffreddamento.

2. Notevole resistenza alla corrosione

Il carburo di tantalio ha una notevole resistenza alla corrosione e all'ossidazione ed è chimicamente inerte verso la maggior parte dei gas reattivi come ammoniaca, idrogeno e silicio. Grazie a questa stabilità chimica, gli anelli guida rivestiti in carburo di tantalio Semicorex prevengono efficacemente l'erosione della matrice da parte dei gas reattivi e il danneggiamento della loro integrità strutturale, evitando anche il rischio di contaminazione da reagenti e impurità che entrano nella struttura cristallina.

Le prestazioni degli anelli guida rivestiti in carburo di tantalio Semicorex

SemicorexAnelli guida rivestiti in carburo di tantalioutilizzare grafite ad elevata purezza come matrice e depositare il rivestimento TaC sulla superficie tramite la tecnologia CVD. La combinazione di questi due materiali consente agli anelli guida rivestiti in carburo di tantalio Semicorex di offrire i seguenti vantaggi:

1. Guida al flusso del gas e ottimizzazione del campo di flusso

Durante la crescita dei cristalli, l'uso di anelli guida aiuta a ottimizzare la distribuzione del flusso all'interno del campo termico e dirige i gas reattivi verso una direzione del flusso controllabile e una distribuzione uniforme. Grazie al loro speciale design strutturale, gli anelli guida rivestiti in carburo di tantalio Semicorex possono guidare il gas per fluire e distribuirlo in modo uniforme, evitando efficacemente concentrazioni locali di gas eccessivamente alte o basse.

2.Regolazione della temperatura e ottimizzazione del campo termico

Gli anelli guida rivestiti in carburo di tantalio Semicorex mostrano una conduttività termica superiore, svolgendo un ruolo cruciale nel contribuire a regolare la distribuzione della temperatura e fornire un campo di temperatura stabile per la crescita dei cristalli. Ad esempio, gli anelli guida rivestiti in carburo di tantalio Semicorex possono aiutare a mantenere il gradiente di temperatura nella crescita PVT dei cristalli di carburo di silicio, garantendo che i materiali si decompongano, trasportino e cristallizzino in condizioni adeguate.