Supporto per cristalli di semi rivestiti in TaC

Il supporto per cristalli seme rivestito in TaC è un componente ad alte prestazioni progettato specificamente per l'ambiente di crescita dei materiali semiconduttori. In qualità di produttore leader di supporti per cristalli seme rivestiti con TTaC, semicorex offre soluzioni efficienti per componenti principali nel campo della produzione di semiconduttori di fascia alta.

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Descrizione del prodotto

Il substrato diRivestito in TaCIl supporto del cristallo seme è solitamente realizzato in grafite, carburo di silicio o materiali compositi carbonio/carbonio, quindi uno strato di rivestimento TaC viene applicato sulla sua superficie attraverso la tecnologia avanzata di deposizione chimica in fase vapore (CVD) a temperatura ultraelevata. Il supporto del cristallo seme rivestito di TaC fabbricato con questo metodo ha un'eccellente resistenza alla corrosione, super resistenza meccanica, buona resistenza alle alte temperature ed efficiente conduttività termica.

La funzione del supporto del cristallo di seme rivestito in TaC

1.Funzione di supporto

Il supporto del cristallo seme rivestito in TaC di Semicorex fornisce una piattaforma di supporto stabile per i cristalli seme, garantendo che il cristallo seme mantenga una posizione fissa in condizioni difficili come l'alta temperatura e l'alto vuoto. Ciò previene efficacemente problemi come lo spostamento dei cristalli o i danni dovuti alle vibrazioni e al flusso d'aria, garantendo così la continuità e la stabilità della crescita dei cristalli.

2. Effetto protettivo

Il supporto del cristallo seme rivestito di TaC è installato sopra il coperchio del crogiolo di grafite e isola il coperchio di grafite dal vapore di Si ad alta temperatura. Ciò evita efficacemente la corrosione indotta dal vapore e prolunga la durata del coperchio in grafite. Inoltre, la stabilità chimica intrinseca e la resistenza alle temperature termiche del rivestimento TaC aiutano anche a ridurre l'introduzione di impurità, fornendo un ambiente stabile e pulito per la crescita dei cristalli di seme.

3. Controllo della temperatura

Il supporto semicorex per cristalli seme rivestito in TaC utilizza tecniche di produzione all'avanguardia nel settore. È possibile ottenere un controllo preciso della temperatura del campo termico ottimizzandone sapientemente forma, dimensioni e spessore del rivestimento. Ciò riduce considerevolmente il tasso di difetti e promuove in modo efficiente la crescita uniforme dei cristalli.