Crogioli in grafite rivestiti in SiC

Installato al centro di forni di crescita dei cristalli ad alta temperatura,Rivestito in SiCI crogioli in grafite funzionano insieme a riscaldatori, manicotti di isolamento termico, tubi guida del flusso e alberi dei crogioli per formare il sistema completo del campo termico. Questo sistema di campo termico può mantenere un ambiente stabile ad alta temperatura essenziale per la crescita dei cristalli.

La produzione di rivestimenti in SiCcrogioli di grafitedi solito inizia con l'uso della tecnologia avanzata di deposizione chimica da vapore per depositare uniformemente un densocarburo di siliciorivestimento sulla superficie del substrato di grafite formato. Composto da elevata purezzagrafitesubstrato e il denso rivestimento in carburo di silicio, il crogiolo in grafite rivestito in SiC forma una struttura sinergica che combina la conduttività termica della grafite con la resistenza alla corrosione del carburo di silicio.

Il metodo Czochralski è la tecnica industriale universale per la crescita dei cristalli. Questa tecnica eserciterà la forza centrifuga sul crogiolo durante la produzione del cristallo. La resistenza alla flessione e la tenacità superiori dei crogioli in grafite rivestiti in SiC possono prevenire rotture o fessurazioni durante la rotazione ad alta velocità, riducendo efficacemente le interruzioni della produzione causate da danni al crogiolo. Inoltre, durante questo processo i crogioli devono subire drastiche fluttuazioni di temperatura in un breve periodo di tempo. Grazie alla loro notevole resistenza agli shock termici, i crogioli in grafite rivestiti in SiC possono ridurre i danni strutturali legati allo stress termico, garantire la stabilità della loro forma, riducendo così i difetti di crescita dei cristalli causati dalla deformazione del crogiolo.

A temperature elevate, i crogioli in grafite rivestiti di SiC formano uno strato protettivo denso di carburo di silicio. Questo strato protettivo può isolare il substrato di grafite dai vapori di silicio e dal silicio fuso, riducendo così al minimo i rischi di corrosione del substrato di grafite e di contaminazione dei cristalli associati al distacco del rivestimento. Pertanto, i crogioli in grafite rivestiti in SiC di Semicorex possono resistere a vari ambienti complessi di corrosione ad alta temperatura per periodi prolungati durante il funzionamento effettivo. Ciò garantisce una composizione cristallina coerente e riduce il tasso di difetti, entrambi essenziali per la produzione di cristalli semiconduttori di alta qualità.