Barca per wafer in ceramica SiC

Semicorex SiC Ceramic Wafer Boat si distingue per una combinazione unica di proprietà del materiale che lo rendono ideale per i rigori della produzione di semiconduttori e fotovoltaica:

Stabilità incrollabile alle alte temperature:La lavorazione dei wafer spesso comporta temperature estreme che spingono i materiali convenzionali ai loro limiti. La Wafer Boat in ceramica SiC mostra un'eccezionale resistenza alle alte temperature, mantenendo la sua integrità strutturale e le proprietà meccaniche anche a temperature superiori a 1650°C (3000°F). Ciò ne consente l'utilizzo in processi critici come la diffusione e la ricottura, dove il controllo preciso della temperatura e la stabilità dei wafer sono fondamentali.

Fortezza inespugnabile contro la corrosione:I prodotti chimici aggressivi e le sostanze aggressive utilizzate nella fabbricazione di semiconduttori e fotovoltaici rappresentano una sfida significativa per l'integrità dei materiali. Il Wafer Boat in ceramica SiC mostra una resistenza alla corrosione superiore rispetto alla maggior parte dei metalli e altre ceramiche, resistendo all'esposizione prolungata a un'ampia gamma di acidi, solventi, sali e composti organici. Questa inerzia garantisce la longevità dell’imbarcazione, previene la contaminazione dovuta al degrado dei materiali e salvaguarda la purezza delle fasi critiche del processo.

Pulizia senza sforzo per una purezza senza compromessi:Mantenere le superfici dei wafer intatte è fondamentale per ottenere rendimenti e prestazioni elevati del dispositivo. La superficie non porosa e la resistenza agli attacchi chimici del Wafer Boat in ceramica SiC lo rendono eccezionalmente facile da pulire. I contaminanti vengono facilmente rimossi, prevenendo la contaminazione incrociata tra le fasi del processo e garantendo l'ambiente incontaminato richiesto per semiconduttori e dispositivi fotovoltaici ad alte prestazioni.

Resilienza allo stress termico e meccanico:La lavorazione dei wafer spesso comporta rapidi cambiamenti di temperatura e manipolazioni meccaniche che possono indurre stress e danneggiare i materiali sensibili. Le robuste proprietà meccaniche del SiC Ceramic Wafer Boat, tra cui l'elevata durezza e l'eccezionale resistenza agli shock termici, ne garantiscono l'integrità strutturale anche in condizioni difficili. Ciò riduce al minimo il rischio di generazione di particelle o danni ai wafer, contribuendo a rendimenti più elevati e a una qualità del prodotto costante.

Trasporto antiscivolo per una precisione incrollabile:La gestione precisa dei wafer è fondamentale per prevenire danni e garantire un'elaborazione coerente. Il potere lubrificante intrinseco e il basso coefficiente di attrito del SiC Ceramic Wafer Boat creano una superficie naturalmente antiscivolo. Ciò consente un movimento fluido e controllato del wafer durante il caricamento e lo scaricamento, riducendo al minimo il rischio di graffi, scheggiature o altri danni che potrebbero compromettere l'integrità del wafer.