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Riscaldatore di grafite a semiconduttore

Riscaldatore di grafite a semiconduttore

Il riscaldatore in grafite a semiconduttore Semicorex è un dispositivo di riscaldamento ad alta efficienza realizzato in grafite isostatica di alta qualità. È ampiamente utilizzato nei collegamenti di processo principali della produzione di semiconduttori, come il campo termico dei forni per la crescita dei cristalli, i processi di crescita epitassiale, le apparecchiature per l'impianto di ioni, le apparecchiature per l'incisione al plasma e la produzione di stampi per sinterizzazione di dispositivi a semiconduttore.

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Descrizione del prodotto


Semiconduttoreriscaldatore in grafiteè un dispositivo di riscaldamento avanzato realizzato in materiale di grafite isostatica di elevata purezza. La sua eccellente conduttività elettrica e termica garantisce un controllo preciso della temperatura e una distribuzione uniforme del calore per la crescita e la lavorazione dei materiali semiconduttori. Quando la corrente elettrica passa attraverso il riscaldatore, supera la resistenza elettrica interna della grafite, convertendo l'energia elettrica in calore, aumentando la temperatura della grafite e ottenendo il riscaldamento. In genere è possibile ottenere un controllo preciso della temperatura regolando l'intensità della corrente elettrica e la resistenza del riscaldatore.

L'elevata purezza accuratamente selezionata di Semicorexgrafite isostaticapresenta un'eccellente conduttività termica, che gli consente di trasferire il calore in modo rapido e uniforme in ogni angolo dell'area riscaldante, prevenendo efficacemente il surriscaldamento localizzato.


In particolare, anche se esposta a condizioni di temperatura estremamente elevata, come l’ablazione con arco a temperatura ultraelevata, la grafite isostatica di elevata purezza mantiene caratteristiche fisiche e chimiche stabili. Il calore intenso normalmente causerebbe la fusione, la deformazione o l'ossidazione dei materiali, ma questo tipo di grafite è in grado di resistere a tali cambiamenti. Ciò lo rende particolarmente adatto per i processi ad alta temperatura nella produzione di semiconduttori, tra cui l'estrazione del silicio monocristallino e la crescita dei cristalli di carburo di silicio.


Il riscaldatore in grafite a semiconduttore è caratterizzato da efficienza energetica. Non necessita di preriscaldamento, raggiunge velocemente la temperatura impostata e consente un notevole risparmio energetico rispetto ai tradizionali riscaldatori. La sua elevata efficienza di conversione termica riduce efficacemente il consumo energetico, realizzando risparmio energetico e riduzione dei consumi. Durante il funzionamento non produce sostanze inquinanti né gas di scarico, rispettando i requisiti ambientali.


Inoltre, il riscaldatore in grafite a semiconduttore vanta una lunga durata. La grafite isostatica di elevata purezza conferisce loro una resistenza meccanica superiore, una forte resistenza alla corrosione e un'eccellente resistenza agli shock termici. Sono meno suscettibili a fattori quali le alte temperature e la corrosione chimica, consentendo una maggiore durata.



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