Tubi di diffusione al quarzo di grado semiconduttore

Barche al quarzosono solitamente utilizzati in condizioni operative di corrosione chimica dura e ad alta temperatura. Durante il funzionamento, i wafer semiconduttori vengono posizionati nella barca al quarzo e inseriti nel tubo di diffusione del quarzo. Quando il tubo di diffusione raggiunge la temperatura richiesta (da diverse centinaia a diverse migliaia di gradi Celsius), i gas di processo (ad esempio O₂, N₂, H₂, Ar) e i gas droganti (ad esempio POCl₃, BBr₃) vengono introdotti nel tubo di diffusione al quarzo attraverso le porte del gas per eseguire l'ossidazione, la diffusione e la ricottura sui wafer semiconduttori. Inoltre, per migliorare l'uniformità e la precisione della diffusione, alcuni processi di diffusione devono essere eseguiti in un ambiente a bassa pressione. 

Nei processi avanzati di produzione di semiconduttori, qualsiasi piccolo errore o carenza in questi processi può portare al fallimento dei processi successivi. Pertanto, in quanto parti cruciali della produzione di semiconduttori, la qualità dei tubi di diffusione al quarzo è significativamente importante e influisce direttamente sulla resa e sulle prestazioni dei dispositivi a semiconduttore.

Le specifiche di Semicorex Quarzo di grado semiconduttore

I tubi di diffusione al quarzo Semicorex per semiconduttori sono meticolosamente realizzati con materiali di alta qualitàquarzo per semiconduttorimateriale. Di seguito sono riportati i parametri specifici:

I parametri possono essere personalizzati in base alle esigenze del cliente.

Le prestazioni dei tubi di diffusione al quarzo Semicorex di grado semiconduttore

Basandosi sulla nostra tecnologia di elaborazione esperta e sulla selezione affidabile dei materiali, Semicorex è un semiconduttoretubi di diffusione al quarzodimostrare prestazioni superiori in condizioni operative difficili:

1. Prestazioni di resistenza alle alte temperature

I tubi di diffusione al quarzo Semicorex di grado semiconduttore offrono una notevole resistenza alle alte temperature, che consente loro di funzionare stabilmente in ambienti ad alta temperatura fino a 1200 ℃ senza alcuna deformazione o danno.

2. Prestazioni di stabilità termica

Vantando un eccezionale coefficiente di espansione termica, i tubi di diffusione al quarzo Semicorex per semiconduttori sono in grado di resistere allo stress termico durante il riscaldamento o il raffreddamento rapido senza rompersi o deformarsi facilmente.

3. Prestazioni di resistenza chimica

I tubi di diffusione al quarzo Semicorex di grado semiconduttore offrono un'inerzia chimica superiore in ambienti corrosivi difficili e ad alta temperatura. Questa prestazione impedisce notevolmente ai contaminanti generati dalla reazione con i gas di processo di influenzare la qualità del wafer.