Il feltro di grafite rigido Semicorex è un materiale di isolamento termico ad alte prestazioni realizzato in fibra di carbonio a base di panoramica e viscosa, ampiamente utilizzato in forni industriali ad alta temperatura. Scegli Semicorex per i suoi processi di produzione avanzati e una comprovata esperienza nella fornitura di soluzioni durevoli e affidabili per le esigenti applicazioni a semiconduttore.*
Il feltro di grafite rigido può essere formato da indurimento in laminazione in feltro morbido e formazione bagnata. Il metodo di laminazione comune per la realizzazione di feltro duro di grafite in fibra di carbonio utilizza il feltro morbido come materia prima. Il processo di produzione inizia con il taglio: taglio più pezzi di spazi vuoti leggermente più grandi della dimensione finale del feltro duramente dal feltro morbido. Dopo il taglio, è impregnato di resina e altri materiali di legame e gli spazi vuoti impregnati sono impilati in più strati in base allo spessore del feltro duro richiesto.
L'impregnazione nella produzione di feltro morbido è principalmente impregnazione di catalizzatori per rendere le fibre viscose più stabili nel successivo trattamento termico; Mentre l'impregnazione del feltro di grafite rigido è principalmente impregnazione di resina termosettica. Nel successivo processo di riscaldamento e cura, la resina liquida si solidifica e gli strati multipli di feltro morbido sono strettamente combinati con la resina da formare.
Il feltro di grafite a grafite in fibra di carbonio consente al materiale di ottenere l'effetto di "1 + 1> 2" in alcune proprietà. Dopo il riscaldamento e la polimerizzazione, il feltro morbido a più livelli impregnati di resina non può più essere arrotolato come un feltro morbido e la densità e la resistenza a compressione del materiale sono aumentate.
Durante la crescita del PVT di singoli cristalli, la fibra di carbonio ha avuto un ruolo nella conservazione del calore. La purezza del feltro di grafite rigido è cruciale per la crescita riuscita dei cristalli SIC. Le impurità nel materiale del sentito isolamento sono una delle fonti di contaminazione da impurità durante il processo di crescita. Il contenuto di elementi chiave di impurità nel feltro in fibra di carbonio è controllato al di sotto di 10-6 e il contenuto totale di cenere deve essere strettamente controllato. Secondo il brevetto, adotta diversi metodi di trattamento a più temperatura a più temperatura, utilizzando più fasi di circolazione del gas in ogni fase per convertire impurità di punti ad alta fusione in composti a basso punto di fusione e gas di impurità di scarico e infine ottenere feltro di fibra di carbonio ad alta purezza, il cui contenuto di cenere è inferiore a 20 mg · kg e Al, B, Fe, v è inferiore a 0.1mg · kg.
Il feltro di grafite rigido ha anche tecnologie chiave per il controllo dell'uniformità del campo di flusso, incluso il campo di uniformità del campo di flusso del campo di temperatura. Il campo di temperatura è uniforme nel forno a cristallo singolo progettando aree di compensazione della temperatura, controllo della temperatura indipendente multi-zone e cambiando la forma e il layout del riscaldatore.