Porta wafer PFA

Semicorex PFAPortatori di wafersono vettori ad alte prestazioni progettati per la gestione, lo stoccaggio e il trasporto in sicurezza di wafer a semiconduttori in un ambiente ultra-pulito. La produzione di semiconduttori avanzati garantisce che i portatori di wafer PFA offrano resistenza chimica senza pari, stabilità termica e controllo delle particelle dall'integrità e dalla pulizia dei wafer durante la fabbricazione attraverso i test finali.

Realizzati in nuovo PFA, questi portatori di wafer mostrano una grande resistenza a sostanze chimiche aggressive come acidi forti, basi e solventi solitamente usati per la pulizia e l'attacco dei wafer. Le proprietà di lisciviazione e schieramento degli ioni molto basse di PFA lo rendono il materiale preferito per importanti compiti di camera pulita, in cui anche piccole quantità di contaminanti possono influire sui rendimenti dei dispositivi.

I vettori di wafer PFA sono realizzati in camere pulite e lavorano con gli standard della camera pulita di classe 1 (Classe ISO 3). La superficie liscia e antiaderente di PFA riduce al minimo la generazione e l'adesione delle particelle, prevenendo la contaminazione da residui o particelle. Inoltre, la natura idrofobica di PFA facilita il risciacquo e l'asciugatura rapida, riducendo ulteriormente il rischio di contaminazione incrociata durante le fasi di lavorazione a umido.

Ogni vettore di wafer PFA è realizzato con precisione per assicurarsi di sicuro e persino supporto ai wafer durante il trasloco e la tenuta. Gli slot scanalati aiutano i wafer con un piccolo contatto, riducendo lo stress e le scheggiature sui bordi dei wafer. I vettori sono disponibili in molte forme per adattarsi a varie dimensioni di wafer che includono diametri da 100 mm, 150 mm, 200 mm e 300 mm. Top opzionali e vie di bloccaggio strette danno ulteriore sicurezza contro lo shock alle merci, le vibrazioni e l'esposizione all'ambiente.

A causa dell'eccellente resistenza termica di PFA fino a 260 ° C, è compatibile con processi ad alta temperatura come diffusione, ossidazione e deposizione di vapore chimico CVD. Il corriere mantiene la sua integrità strutturale sotto il ciclo termico ripetuto ed è quindi adatto sia per gli ambienti di elaborazione batch che automatizzati.

I portatori di wafer PFA hanno ampie applicazioni nella pulizia dei wafer, nell'attacco a umido, nella fotolitografia CMP e altri processi front-end e back-end nella fabbricazione di IC. La loro robusta progettazione e purezza li rendono ideali per l'uso in Fabs, R&D Labs e attrezzature OEM che richiedono protocolli di controllo di contaminazione rigorosi.

PersonalizzatoPorta wafer PFAPuò essere sviluppato per soddisfare requisiti di automazione specifici, tra cui la manipolazione robotica, i sistemi di binari e il trasporto verticale/orizzontale. I vettori sono pienamente compatibili con attrezzature per la movimentazione dei wafer standard e strumenti di produzione di semiconduttori.