Barca solare in grafite PECVD

SemicorexBarche in grafite solare PECVDsono realizzati con precisione con elevata purezzagrafite isostatica. Ogni barca solare in grafite PECVD di Semicorex viene sottoposta a lavorazione precisa, ispezione dimensionale e test delle prestazioni elettriche per garantire prestazioni stabili in ambienti al plasma ad alta temperatura.

Durante l'elaborazione PECVD, la barca solare in grafite PECVD trasporta wafer di silicio nella camera di reazione PECVD e funge da elettrodo collegato all'alimentatore RF. Quando viene applicata una tensione alternata tra piastre adiacenti della barca, si crea un campo elettrico. Sotto l'influenza del campo elettrico, i gas reattivi (come il silano SiH₄ e l'ammoniaca NH₃) subiscono una scarica luminescente e generano plasma. Ioni e radicali liberi nel plasma decompongono i gas precursori, formando ioni di silicio (Si) e azoto (N). Questi ioni si combinano per formare molecole di nitruro di silicio (Si₃N₄), che vengono poi depositate sulla superficie del wafer di silicio per formare film sottili.

1. Eccezionale stabilità termica

Con un coefficiente di dilatazione termica vicino a quello dei wafer di silicio, SemicorxBarca solare in grafite PECVDsubisce un cambiamento dimensionale trascurabile durante il riscaldamento, il che evita in modo affidabile danni indotti dallo stress termico sui wafer.

2. Conduttività elettrica e termica superiore

Le barche solari in grafite Semicorex PECVD hanno un'eccellente conduttività elettrica, garantendo una rapida conduzione della corrente RF e una distribuzione uniforme del campo elettrico, il che è vantaggioso per la generazione stabile di plasma e la deposizione uniforme di wafer di silicio. Inoltre, la sua conduttività termica superiore facilita il raffreddamento e il riscaldamento rapidi, migliorando l’efficienza della produzione e impedendo al contempo che il surriscaldamento localizzato influisca sulla qualità della deposizione.

3. Forte stabilità chimica

Grazie all'utilizzo di materiale di prima qualità, la barca solare in grafite Semicorex PECVD è meno incline alla reazione con i gas reattivi e il plasma. Questa caratteristica previene in modo significativo la distribuzione irregolare del campo elettrico causata da corrosione, deformazione o deposizione di impurità nella barca di grafite, garantendo così la stabilità del processo di deposizione e la qualità della superficie dei wafer di silicio.

4. Eccezionale resistenza meccanica

Con la sua eccezionale resistenza meccanica, la barca solare in grafite Semicorex PECVD può gestire facilmente il peso di carichi di wafer di volume elevato. Possono resistere a lungo alle sollecitazioni meccaniche generate durante il carico e il trasporto senza deformarsi o rompersi facilmente.

5. Ottima consistenza dimensionale

La barca solare in grafite Semicorex PECVD raggiunge un'eccezionale precisione dimensionale su tutti i componenti attraverso una lavorazione di precisione. Mantiene il wafer di silicio in una posizione fissa durante la deposizione, garantendo una deposizione uniforme e compatibilità con la produzione automatizzata.