Rivestimenti in carburo di tantalio nell'industria dei semiconduttori

Lo sviluppo di LED blu e UV ad alta potenza ha consentito la creazione di display TV LED a colori, nonché illuminazione domestica e automobilistica a LED bianco. Questi LED sono basati sul nitruro di gallio, che viene depositato su wafer di substrato supportati da suscettore di grafite rivestito in SiC CVD utilizzando il processo MOCVD. Tuttavia, il rivestimento SiC viene attaccato dal gas di ammoniaca utilizzato nel processo, riducendone la durata. Per aumentare la durata del rivestimento e ridurre i costi complessivi, l’industria ha bisogno di una nuova opzione di rivestimento più inerte. Il carburo di tantalio viene preso in considerazione come sostituto, poiché può migliorare notevolmente la resistenza a questa atmosfera aggressiva e fornire una soluzione attualmente non disponibile. Semicorex vende parti in grafite rivestita in TaC CVD a fornitori dell'industria dei semiconduttori.

I nostri prodotti in grafite con rivestimento TaC sono noti per la loro resistenza al calore superiore rispetto ai prodotti in grafite con rivestimento SiC. Di conseguenza, sono comunemente utilizzati nella lavorazione dei semiconduttori, come il processo epitassiale dei wafer SiC, che vengono utilizzati a temperature più elevate. La domanda per i nostri prodotti aumenta in linea con la crescita del mercato.

Semicorex offre parti in grafite rivestita in TaC di alta qualità con un servizio personalizzato. Se hai domande o hai bisogno di ulteriori dettagli, non esitare a contattarci.

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