Rivestimento TaC

Le ceramiche TaC hanno un punto di fusione fino a 3880°C, elevata durezza (durezza Mohs 9-10), elevata conduttività termica (22 W·m^-1·K⁻¹), elevata resistenza alla flessione (340-400 MPa) e piccolo coefficiente di dilatazione termica (6,6×10^-6K-1) e mostrano un'eccellente stabilità termochimica ed eccellenti proprietà fisiche, quindi i rivestimenti TaC sono ampiamente utilizzati nella protezione termica aerospaziale e i compositi in grafite e C/C hanno una buona compatibilità chimica e compatibilità meccanica. ), e mostrano un'eccellente stabilità termochimica ed eccellenti proprietà fisiche, e i compositi di grafite e C/C hanno una buona compatibilità chimica e meccanica, quindi i rivestimenti TaC sono ampiamente utilizzati nella protezione termica aerospaziale, nella crescita di cristalli singoli, nell'energia, nell'elettronica e nei dispositivi medici, ecc. La grafite rivestita in TaC ha una migliore resistenza chimica rispetto alla grafite nuda o alla grafite rivestita in SiC e può essere utilizzata stabilmente a una temperatura elevata di 2600°. Stabilità alle alte temperature di 2600 ° e molti elementi metallici non reagiscono, è la terza generazione di scenari di crescita del singolo cristallo semiconduttore e di incisione del wafer nelle migliori prestazioni del rivestimento, può migliorare significativamente il processo di controllo della temperatura e delle impurità, la preparazione di alta wafer in carburo di silicio di alta qualità e relativo wafer epitassiale. È particolarmente adatto per le apparecchiature MOCVD per la crescita di cristalli singoli GaN o AlN e per le apparecchiature PVT per la crescita di cristalli singoli SiC e la qualità dei singoli cristalli cresciuti è notevolmente migliorata.

Secondo i risultati della ricerca,Il rivestimento TaC può fungere da strato di protezione e isolamento per prolungare la durata dei componenti in grafite, migliorare l'uniformità della temperatura radiale, mantenere la stechiometria della sublimazione del SiC, sopprimere la migrazione delle impurità e ridurre il consumo di energia. In definitiva, si prevede che un set di crogioli in grafite rivestito di TaC migliorerà il controllo del processo SiC PVT e la qualità del prodotto.