Mandrino sottovuoto in allumina porosa

La pinza a vuoto è collegata all'attrezzatura per il vuoto tramite un tubo di collegamento. Quando il mandrino a vuoto entra in contatto con il pezzo, come un wafer/film sottile, l'attrezzatura per il vuoto inizia a funzionare, creando una pressione negativa all'interno del mandrino a vuoto. Sotto la pressione atmosferica, il pezzo aderisce saldamente alla ventosa, consentendo la lavorazione. Una volta completata la lavorazione, l'attrezzatura per il vuoto smette di funzionare e riempie lentamente di gas il mandrino a vuoto, separando automaticamente il pezzo dal mandrino. Ciò completa il bloccaggio, la lavorazione e la movimentazione del pezzo.

L'obiettivo principale della fotolitografia a semiconduttore è quello di "stampare" miliardi di schemi di circuiti a transistor su un wafer con precisione a livello nanometrico. L'essenza della "fotolitografia" è quella di utilizzare una fonte di luce per irradiare un fotoresist altamente fotosensibile, provocando una reazione chimica che incide il circuito. Tuttavia, quando la sorgente luminosa irradia il wafer, inevitabilmente si riflette anche sul mandrino elettrostatico, che funge da supporto del wafer. La luce secondaria riflessa risultante può interferire con il processo di fotolitografia, provocando l'esposizione in aree non previste e danneggiando i circuiti. Pertanto, una superficie nera per il mandrino a vuoto riduce al minimo la riflessione, garantendo i requisiti di precisione del sistema di fotolitografia. Sulla base di questa capacità, l'allumina nera può essere ampiamente utilizzata non solo nei mandrini elettrostatici ma anche in scenari di "soppressione della luce". L’avvento dell’era dell’intelligenza artificiale ha consentito uno sviluppo significativo nelle applicazioni di comunicazione ottica e i substrati di allumina nera sono spesso presenti negli imballaggi di dispositivi optoelettronici e di elementi che emettono luce.

Ceramica di allumina neraè costituito principalmente da Al2O3, con l'aggiunta di ossidi di metalli di transizione come coloranti e ausiliari di sinterizzazione, sinterizzati a una temperatura specifica. Il colorante è un componente fondamentale di questo tipo di ceramica, determinandone il colore finale. Quando si selezionano i coloranti per i mandrini a vuoto, è essenziale garantire il grado di colore, resistenza meccanica, porosità e dimensione dei pori del mandrino a vuoto.

Attualmente, gli ossidi di metalli di transizione comunemente usati come coloranti sia a livello nazionale che internazionale includono Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 e MnO2, con Fe2O3, CoO, NiO e MnO2 che sono i più diffusi. Poiché l'allumina è meno volatile alle alte temperature, mentre gli ossidi dei metalli di transizione sono l'opposto, la loro volatilità aumenta con la temperatura. Questi ossidi formano composti di tipo spinello durante la sinterizzazione ad alta temperatura, che ne riduce la volatilità. Pertanto, per sopprimere la volatilizzazione degli ossidi dei metalli di transizione, dovrebbero essere selezionate condizioni di processo appropriate per consentire loro di combinarsi in composti di tipo spinello a temperature più basse.

Semicorex offre doganamandrino a vuoto in ceramica porosa. Se hai domande o hai bisogno di ulteriori dettagli, non esitare a contattarci.

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