Qual è la tacca sui wafer?

La tacca del wafer è una scanalatura a forma di V o di U sul bordo di awafer semiconduttore. Lungi dall'essere un difetto riscontrato durante il processo di produzione, si tratta di un marcatore strutturale critico progettato intenzionalmente, la cui funzione principale risiede nel consentire l'identificazione precisa del posizionamento e dell'orientamento del wafer. Il wafer piatto è stato utilizzato come contrassegno di orientamento nelle prime fasi di sviluppo della tecnologia del wafer. Tuttavia, con il graduale aumento delle dimensioni dei wafer, il design a bordo piatto occupava un'area più effettiva, venendo gradualmente sostituito dal notch più compatto.

Qual è la funzione della tacca del wafer? 

La produzione di chip è un processo su scala nanometrica, in cui qualsiasi deviazione direzionale può portare al guasto del circuito. Fungendo da contrassegno di orientamento, la tacca del wafer consente alle macchine per litografia e incisione di identificare rapidamente l'orientamento del cristallo del wafer, garantendo un allineamento accurato di ogni fase del processo. Ogni chip è posizionato sul wafer secondo una tacca, simile al meridiano fondamentale. Questo design ingegnoso consente di litografare e disporre i modelli dei circuiti con la tacca come dato di riferimento. Inoltre, i bracci robotici si affidano alla tacca del wafer per distinguere il lato anteriore/posteriore del wafer e l'orientamento in una linea di produzione altamente automatizzata, prevenendo in modo significativo danni al wafer o errori di processo causati da un funzionamento errato. Qualora la tacca dovesse risultare contaminata o danneggiata, l'intero wafer potrà essere scartato come non conforme.

Anche la tacca del wafer svolge un ruolo cruciale nel migliorare la resa della produzione dei chip. Poiché i bordi dei wafer sono soggetti a difetti come linee di scorrimento e crepe durante la produzione, il posizionamento preciso tramite tacche consente all'apparecchiatura di evitare con precisione queste aree difettose, riducendo così gli sprechi. Le moderne linee di produzione adottano anche tecnologie come la rotazione delle sospensioni pneumatiche per le operazioni di ricerca bordi. Fungendo da indicatore per il rilevamento senza contatto, la tacca del wafer non solo evita la contaminazione causata dal contatto meccanico, ma migliora anche l'efficienza e la precisione dell'identificazione.

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