Barca da wafer in carburo di silicio

Dietro ogni processo ad alta temperatura nella produzione di wafer si trova un giocatore silenzioso ma cruciale: la barca del wafer. Come vettore centrale che contatta direttamente il wafer di silicio durante l'elaborazione del wafer, il suo materiale, la stabilità e la pulizia sono direttamente correlati alla resa finale del chip e alla stabilità del processo. Tra i vari materiali vettori,silicio carburo (sic)Le barche stanno gradualmente sostituendo le tradizionali soluzioni di quarzo, diventando la soluzione preferita per processi avanzati e attrezzature di fascia alta.

Perché le barche del wafer sic?

Con l'avanzamento dei nodi di processo al di sotto di 7nm e l'espansione delle finestre di processo ad alta temperatura, le tradizionali barche di wafer al quarzo sono sempre più lotte in termini di stabilità termica, controllo delle particelle e gestione della durata della vita.

Le barche del wafer in carburo di silicio, tuttavia, stanno gradualmente guadagnando importanza a causa dei seguenti vantaggi:

1.Stable ad alte temperature:

Offrono temperature operative a lungo termine di 1350-1600 ° C, gestendo facilmente i processi tradizionali come CVD, diffusione e ricottura. Perfino una breve esposizione a temperature di 1800 ° C non mostra alcun ammorbidimento o deformazione, rendendoli adatti per attrezzature di fascia alta come forni in carburo di silicio a singolo cristallo.

2. Espansione del low e elevata stabilità degli shock termici:

Con un basso coefficiente di espansione termica, possono resistere a rapidi aumenti e diminuzioni della temperatura, riducendo al minimo le crepe strutturali causate da stress termico. Mantengono eccellenti morfologia e prestazioni in atmosfere complesse ad alta temperatura (come idrogeno, azoto, ammoniaca e fluoruri).

3. Surface Clean e contaminazione estremamente bassa:

Purità ad alta materiale con impurità metalliche minime. Bassa rugosità superficiale, prevenzione della contaminazione secondaria dei wafer di silicio; Eccellente controllo della rugosità superficiale, con RA inferiore a 0,1 μm, sopprime lo spargimento di particelle e soddisfa i requisiti della camera pulita dei processi avanzati;

4. Mormatura monopezzo, Le strutture di barca da wafer accoppiate precisite possono essere formate direttamente attraverso lo stampoStampa 3D, eliminando la necessità di stampi, migliorando significativamente l'efficienza della personalizzazione; In combinazione con la lavorazione a cinque assi e la tecnologia di taglio del filo, i denti della barca sono privi di bava, prevenendo graffi sui wafer e garantendo una maneggevolezza automatizzata fluida;

5. Alta resistenza e lunga vita: 

Una singola barca vanta un'elevata resistenza al carico e può sostenere contemporaneamente dozzine a centinaia di wafer da 12 pollici. Rispetto alle tradizionali barche al quarzo, la durata media della barca è 5-10 volte più lunga, riducendo la frequenza di cambio dell'attrezzatura e il costo totale di proprietà.

Scenario dell'applicazione

L'ampia adattabilità dibarche wafer in carburo di silicioestende la loro applicazione oltre il campo di semiconduttore a una varietà di scenari di processo ad alta temperatura, tra cui nuovi materiali energetici, produzione a LED e ricerca sull'energia nucleare.

Industria dei semiconduttori

È adatto per processi chiave come ossidazione, diffusione, deposizione di CVD e impianto ionico, rendendolo un vettore ad alta temperatura indispensabile per le linee di processo sub-7nm.

Industria fotovoltaica

Nelle tecnologie a batteria emergenti come TopCon e HJT, le barche di wafer sono utilizzate in processi di fornace ad alta temperatura come LPCVD e ricottura, contribuendo a migliorare l'efficienza energetica e i tassi di conversione.

Semiconduttori di terza generazione

Per i processi di crescita epitassiale di GAN e SIC nei LED, supportano substrati in carburo di zaffiro o silicio. Restringono a gas corrosivi come NH₃ e HCL, supportando la produzione di dispositivi di alimentazione ad alta frequenza.

Nuovi materiali energetici e ricerca Piattaforma ad alta temperatura

Supporta la reazione di sinterizzazione dei materiali del catodo a batteria al litio e il trattamento termico dei materiali dell'industria nucleare, combinando la resistenza al calore, resistenza alla corrosione e pulizia.

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