Cassetta wafer orizzontale

Proprietà dei materiali

La cassetta per wafer orizzontale Semicorex è uno strumento vitale nell'industria dei semiconduttori per la protezione e la gestione dei wafer nelle diverse fasi della produzione. Spesso chiamate portawafer, queste cassette sono progettate per contenere e spostare diversi wafer della stessa dimensione. Garantiscono prestazioni eccellenti in una varietà di condizioni di produzione soddisfacendo requisiti di processo specifici, come il trattamento termico, e sono disponibili in un'ampia gamma di materiali.

Varie scelte di materiali

Le cassette wafer orizzontali sono disponibili in una varietà di materiali ad alte prestazioni per soddisfare le diverse esigenze della fabbricazione di semiconduttori. Questi forniscono eccezionale resistenza chimica e stabilità termica e includono PVDF, ECTFE Halar, PFA Teflon e PTFE Teflon. Le opzioni in acciaio inossidabile come 304L e 316 sono consigliate per applicazioni che richiedono maggiore resistenza meccanica e resistenza alla corrosione. Viene utilizzato anche il polipropilene naturale per le sue caratteristiche economiche e leggere, che consentono flessibilità nell'applicazione preservando l'integrità della procedura di gestione dei wafer.

Caratteristiche del design avanzato

Con caratteristiche che possono essere regolate per soddisfare determinati requisiti operativi, le cassette per wafer orizzontali sono costruite meticolosamente. Questi sono costituiti da profili di apertura laterale, punti di contatto del substrato, passo e spaziatura del substrato, nonché dimensioni e forme che possono essere modificate. La loro adattabilità a una varietà di processi è aumentata dalla loro versatilità nell'orientamento del substrato e dalla capacità di gestire una vasta gamma di dimensioni del substrato. Inoltre, è possibile aggiungere a queste cassette funzionalità di automazione e capacità di gestione delle cassette, come maniglie rimovibili per una maggiore comodità.

Applicazioni

Nella produzione di semiconduttori, l'uso di cassette per wafer orizzontali è essenziale per garantire la manipolazione sicura ed efficace dei wafer in una varietà di procedure.

Le cassette wafer orizzontali sono realizzate con materiali robusti e di alta qualità e offrono una forte difesa contro danni fisici e contaminazione, due problemi importanti nelle impostazioni dei semiconduttori. L'architettura delle cassette protegge i fragili wafer durante lo stoccaggio e il trasporto riducendo l'esposizione a eventuali contaminanti.

Pulizia e asciugatura migliorate

Migliori risultati di lavaggio e asciugatura sono resi possibili dall'ampia superficie di apertura nella struttura delle cassette wafer orizzontali. Questa caratteristica è fondamentale per preservare la pulizia dei wafer, riducendo la possibilità di difetti e migliorando il calibro dei dispositivi a semiconduttore finiti.

Efficienza del flusso e del trattamento chimico

Per ridurre al minimo i punti di trappola del materiale e massimizzare la dinamica del flusso chimico, sono progettate cassette wafer orizzontali. Per migliorare il flusso chimico e garantire una copertura completa e un trattamento efficiente nei bagni chimici, è possibile aggiungere una serie di funzionalità extra.

Trasporto sicuro e allineamento dei wafer

Il design della cassetta per wafer orizzontale è caratterizzato da un preciso allineamento dei wafer, che garantisce che i wafer siano mantenuti saldamente in posizione durante il trasporto. Ciò riduce la possibilità di rotture o disallineamenti, che potrebbero causare costosi difetti o ritardi nel processo. La gestione dei wafer deve essere effettuata in modo sicuro per preservare l'integrità del processo di produzione dei semiconduttori.

Efficienza nel flusso di lavoro ed ergonomia

Le cassette wafer orizzontali sono facili da usare ed efficienti grazie al loro design ergonomico, che semplifica la procedura di carico e scarico. Nelle camere bianche, questa semplicità d'uso migliora l'efficienza del flusso di lavoro, consentendo processi più efficienti e tempi di gestione inferiori. I produttori di semiconduttori possono aumentare l’efficienza e rispettare rigorosi standard di pulizia semplificando queste procedure.