Barche orizzontali con wafer al quarzo

Barchette orizzontali in wafer di quarzocomunemente tengono i wafer semiconduttori orizzontalmente all'interno dei tubi del forno delle apparecchiature per il trattamento termico, riscaldati da dispositivi di riscaldamento esterni. Sono ampiamente utilizzati nei processi impegnativi di trattamento termico dei semiconduttori corrosivi ad alta temperatura, come i processi di ossidazione termica, diffusione ad alta temperatura, ricottura e deposizione chimica da fase vapore (CVD).

Le funzioni delle barche wafer al quarzo orizzontali Semicorex

1. Tenuta e fissaggio stabili

Le barche per wafer al quarzo orizzontali Semicorex hanno un'eccellente capacità di carico e possono offrire costantemente un supporto stabile per più wafer semiconduttori. E il loro design esterno ottimizzato e la struttura precisa delle fessure garantiscono ciascuno di essiwaferè perfettamente montato e fissato saldamente sulle barche orizzontali per wafer al quarzo, riducendo significativamente i graffi e le collisioni dei wafer causati da scuotimento, spostamento e inclinazione durante i processi di trasporto e produzione.

2. Assistenza per l'uniformità del processo

La struttura delle fessure a spaziatura uniforme delle navicelle orizzontali per wafer al quarzo consente il posizionamento ordinato dei wafer semiconduttori, creando così un campo di flusso di gas stabile e regolare nei forni ad alta temperatura. Il design strutturale garantisce un contatto con il gas e una velocità di reazione costanti su ciascuna superficie del wafer, riducendo così efficacemente vari difetti causati dal riscaldamento irregolare e dal contatto differenziale del gas, come l'ossidazione incompleta del wafer, la deposizione irregolare di film sottile e la deviazione della concentrazione del drogante.

3. Durata di servizio duratura

Grazie alla resistenza superiore alle alte temperature del materiale al quarzo, le barchette per wafer al quarzo orizzontali Semicorex possono resistere a temperature elevate di 1100-1200 ℃ per lungo tempo senza deformazioni o fusione.Quarzoè chimicamente inerte ai gas comunemente utilizzati nei processi dei semiconduttori, come ossigeno, azoto e acido cloridrico. Questa eccezionale inerzia chimica può ridurre al minimo il rischio di corrosione derivante dai gas di processo, prolungando notevolmente la durata di servizio e riducendo tempi e costi di sostituzione delle apparecchiature.