I riscaldatori in grafite Semicorex per zona calda, progettati per funzionare in modo affidabile all'interno di forni ad alta temperatura, sono progettati per resistere alle difficili condizioni inerenti a processi come la deposizione chimica in fase vapore (CVD), l'epitassia e la ricottura ad alta temperatura. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di riscaldatori in grafite ad alte prestazioni per zone calde che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
Distribuzione omogenea della temperatura:Il riscaldatore in grafite per zone calde è rinomato per le sue caratteristiche di riscaldamento uniforme, ottenute attraverso una combinazione di meticolosa lavorazione dei materiali e lavorazione di precisione. Questa omogeneità garantisce un profilo di temperatura coerente su tutta la superficie riscaldante, riducendo al minimo i gradienti termici che possono portare a una lavorazione non uniforme dei wafer, a una resa ridotta e a prestazioni incoerenti del dispositivo.
Eccezionale resistenza alla corrosione:Il riscaldatore in grafite per zone calde dimostra una notevole resistenza a una varietà di gas corrosivi e sostanze chimiche comunemente incontrate nella lavorazione dei semiconduttori ad alta temperatura. Questa inerzia intrinseca garantisce stabilità e prestazioni del riscaldatore a lungo termine, riducendo al minimo i rischi di contaminazione e prolungando la durata operativa.
Resistenza all'ossidazione superiore:A differenza della grafite convenzionale, il riscaldatore in grafite per zone calde presenta una resistenza superiore all'ossidazione, anche a temperature elevate. Questa caratteristica è fondamentale per mantenere l'integrità del riscaldatore e prevenire la formazione di contaminazione da particolato all'interno della camera di lavorazione.
Purezza chimica ultraelevata:Il riscaldatore di grafite per zona calda viene elaborato per raggiungere livelli di purezza estremamente elevati, riducendo al minimo il rischio di introdurre contaminanti indesiderati nell'ambiente di lavorazione dei semiconduttori. Questa purezza eccezionale è essenziale per mantenere l'integrità dei delicati materiali semiconduttori e garantire le proprietà elettriche e ottiche desiderate dei dispositivi fabbricati.
Elevata resistenza meccanica e stabilità:Il riscaldatore in grafite per zone calde possiede una splendida resistenza meccanica e stabilità dimensionale a temperature elevate, consentendo la fabbricazione di componenti del riscaldatore robusti in grado di resistere ai rigori del funzionamento ad alta temperatura, compresi i cicli termici e lo stress meccanico.