Elettrodo di grafite

L'elettrodo di grafite Semicorex è un componente di grafite di elevata purezza, prodotto con precisione, da utilizzare in applicazioni termiche a semiconduttore, dove la conduttività elettrica, la stabilità termica e l'accuratezza dimensionale sono fondamentali. Infatti, questo tipo di elettrodi vengono utilizzati in forni ad alta temperatura, reattori epitassiaci e camere di trattamento termico, facilitando la conduzione stabile della corrente, il trasferimento di calore e la stabilità in condizioni aggressive di temperatura e atmosfera. Grazie all'estrema purezza, all'uniformità della struttura solida e alle elevate proprietà meccaniche degli elettrodi di grafite Semicorex, possono fornire prestazioni termiche affidabili come elementi riscaldanti in applicazioni impegnative di semiconduttori

L'elettrodo di grafite è realizzato con materiale di grafite a grana fine di alta qualità, ciascuno è realizzato utilizzando una sequenza avanzata di estrusione, carbonizzazione ad alta temperatura e grafitizzazione. La microstruttura della grafite è progettata per una resistività elettrica approssimativamente costante, un'elevata conduttività termica e stabilità meccanica. Il prodotto finale è un conduttore termico di elevata purezza che mantiene una condizione fisica e una distribuzione uniforme della corrente in ambienti ad alta potenza, nonché rapide fluttuazioni di temperatura.

Ultra Performance nel nostrografite

La nostra grafite garantisce un'uniformità di prestazione superiore. Innanzitutto, durante il processo di carbonizzazione, i nostri forni hanno solo 115 metri cubi. Il nostro team tecnico monitora il campo di temperatura dei prodotti in grafite in diverse aree di ciascun forno. Nella fase iniziale a bassa temperatura (0-200°C), controlliamo la temperatura entro ±10°C e a temperature elevate (superiori a 600°C), entro ±1°C. Non monitoriamo solo il campo di temperatura tra le diverse particelle di grafite, ma anche la temperatura superficiale e interna di ogni singolo pezzo di grafite, controllandola entro ±3°C. Monitoriamo 8 punti di temperatura in ciascun forno di carbonizzazione.

In secondo luogo, durante il processo di grafitizzazione, prendendo come esempio un lotto da 500 kg, monitoriamo anche 8 punti di temperatura. Dopo la grafitizzazione, campioniamo casualmente e testiamo in modo distruttivo 24 punti lungo gli assi X, Y e Z per garantire l'uniformità. La maggior parte delle aziende del settore testa solo l'asse X, o al massimo l'asse XY, con i produttori tipici che testano solo 6-8 punti e quelli migliori che testano 12 punti. Testiamo 24 punti.

Nel campo termico dei semiconduttori, l'elettrodo di grafite è una parte critica del gruppo riscaldante, poiché dirige la corrente elettrica nella zona di riscaldamento e consente la distribuzione controllata della temperatura attraverso un processo specifico, come ossidazione, diffusione, LPCVD o epitassia. L'elettrodo di grafite deve svolgere un ruolo operativo affidabile a temperature superiori a 2000°C e farlo resistendo all'ossidazione, alla deformazione o alla contaminazione del sito di riscaldamento.

Gli elettrodi di grafite Semicorex hanno un'eccezionale conduttività elettrica, che facilita l'erogazione di potenza efficace con perdite minime, e possiedono un'eccellente conduttività termica, consentendo un trasferimento di calore rapido e uniforme nel forno. La combinazione di bassa dilatazione termica ed elevata resistenza meccanica riduce la deformazione e la fessurazione durante i cicli termici, garantendo un comportamento stabile per lunghi periodi di vita utile. Ogni elettrodo è lavorato secondo rigorose tolleranze dimensionali e finitura superficiale fine per garantire un contatto costante e una resistenza elettrica trascurabile sulla superficie di contatto.

Tenendo presenti i requisiti specifici dei processi dei semiconduttori, Semicorex può progettare progetti di elettrodi personalizzati per adattarsi a qualsiasi configurazione di forno e specifica di alimentazione. Possono essere resi disponibili diversi diametri, lunghezze, tipologie di connessioni o finiture superficiali. Se necessario, è possibile applicare materiali di rivestimento, come SiC o carbonio pirolitico, per supportare la resistenza all'ossidazione e la durata di servizio in ambienti ad alto contenuto di ossigeno o di gas reattivi.

L'elevata purezza delmateriale di grafiteserve a garantire livelli incredibilmente bassi di impurità metalliche (e impurità gassose), spesso superiori al 99,999% di carbonio. Livelli così bassi di impurità aiutano a evitare la contaminazione dei wafer semiconduttori durante il trattamento termico. Combinati con la notevole profondità di lavorazione e la finitura superficiale lucida, gli elettrodi di grafite Semicorex soddisfano sia la stabilità meccanica che chimica delle tecnologie all'avanguardia di fabbricazione di wafer.

Sia che venga utilizzato in forni a diffusione, reattori epitassiali o apparecchiature di trattamento ad alta temperatura, l'elettrodo di grafite Semicorex fornisce prestazioni ineguagliabili negli ambienti termici più esigenti. Combinando elevata purezza, geometria precisa e lavorazione avanzata dei materiali, Semicorex offre una soluzione di elettrodi che garantisce una conduzione di corrente stabile, un riscaldamento costante e un'affidabilità operativa a lungo termine essenziali per la produzione di semiconduttori di prossima generazione.