Mandrini elettrostatici in ceramica

I mandrini elettrostatici ceramici Semicorex sono componenti di adsorbimento elettrostatico di precisione realizzati in ceramica di allumina e nitruro di alluminio ad alte prestazioni, che utilizza il principio dell'adsorbimento elettrostatico per bloccare e fissare i wafer. È ampiamente utilizzato nei campi della produzione di semiconduttori. Semicorex dispone di tecnologia avanzata, materiali di alta qualità e prodotti convenienti. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner di fornitura affidabile in Cina.

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Descrizione del prodotto

Mandrini elettrostatici in ceramicasono componenti di precisione che utilizzano il campo elettrostatico generato tra elettrodi e wafer per bloccare e fissare i wafer. Sono ampiamente applicati in campi quali semiconduttori, display a schermo piatto e ottica e sono componenti fondamentali di apparecchiature di fascia alta come dispositivi PVD, macchine per incisione e impiantatori di ioni.

Rispetto ai tradizionali mandrini meccanici e ai mandrini a vuoto, i mandrini elettrostatici in ceramica presentano molti vantaggi nel campo della produzione di semiconduttori. Questo mandrino elettrostatico in ceramica utilizza l'elettricità statica per appiattire e trattenere uniformemente i wafer sulla sua superficie. Questa forza di adsorbimento uniforme può mantenere l'oggetto adsorbito relativamente piatto, evitandolowaferdeformazioni o deformazioni che possono essere causate dai tradizionali mandrini meccanici omandrini a vuotoe garantire che il wafer mantenga una precisione di elaborazione adatta ai processi di semiconduttori ad alta precisione.

Alcuni mandrini elettrostatici in ceramica sono dotati di funzioni di riscaldamento integrate, che possono controllare accuratamente la temperatura del wafer attraverso gas di riflusso o elettrodi di riscaldamento interni, adattarsi ai severi requisiti di temperatura di diversi processi e migliorare la stabilità della lavorazione.

A differenza dei mandrini meccanici, i mandrini elettrostatici in ceramica riducono le parti meccaniche in movimento, riducono l'impatto dei contaminanti particolati sulla qualità del wafer, proteggono efficacemente la pulizia della superficie del wafer e migliorano la resa del prodotto.

I mandrini elettrostatici in ceramica offrono un'ampia compatibilità. Possono ospitare wafer di varie dimensioni e materiali, tra cui silicio, arseniuro di gallio e carburo di silicio, soddisfacendo le diverse esigenze di produzione di semiconduttori.

Possono funzionare stabilmente in ambienti ad alto vuoto come l'impianto ionico e CVD, superando la limitazione dei tradizionali mandrini a vuoto che non possono assorbire wafer in un ambiente sotto vuoto e soddisfacendo perfettamente i requisiti di processo dell'impianto ionico, della deposizione chimica da fase vapore (CVD) e altri processi nella produzione di semiconduttori.