Mandrini in allumina con scanalatura anulare

I mandrini in allumina con scanalature anulari Semicorex adottano una struttura superficiale costituita da una serie di scanalature anulari concentriche multiple. Quando sono collegate alla pompa per vuoto, queste scanalature formano zone di pressione negativa a forma di anello per trattenere stabilmente wafer sottili e pezzi in lavorazione con un posizionamento preciso. I mandrini in allumina con scanalatura anulare Semicorex funzionano bene in condizioni di lavoro che richiedono una rigorosa gestione della planarità e una forza di adsorbimento uniformemente distribuita, che sono ampiamente applicate nei processi di tenuta dei wafer, posizionamento dell'esposizione, incisione al plasma, nonché di ispezione e trasferimento dei wafer.

Vantaggi dei mandrini in allumina con scanalatura anulare Semicorex

1. Eccezionale resistenza alle alte temperature

Le ceramiche di allumina fabbricate mediante sinterizzazione di densificazione mostrano notevoli prestazioni termiche. Grazie a questa proprietà del materiale, i mandrini in allumina con scanalatura anulare Semicorex funzionano stabilmente in ambienti di lavoro a temperature estremamente elevate senza deformazioni strutturali e degrado delle prestazioni nell'uso a lungo termine.

2. Forza di assorbimento uniforme

Semicorex scanalato anularemandrini in alluminapresentano molteplici scanalature anulari sulla superficie di aspirazione, nelle quali si formano zone di vuoto stabili a forma di anello. Questa configurazione consente una forza di adsorbimento costante attraverso le principali aree di contatto del wafer, riducendo così significativamente la deformazione e la deformazione parziale del wafer.

3. Stabilità strutturale superiore ed elevata precisione di posizionamento ripetuto

Vantando una rigidità del materiale e una stabilità strutturale superiori, i mandrini in allumina con scanalatura anulare Semicorex sono in grado di mantenere un'eccellente planarità e una precisione di posizionamento costante durante le ripetute operazioni di bloccaggio a vuoto per lungo tempo.

4. Forte resistenza alla corrosione chimica

A causa dialluminaGrazie all'affidabile stabilità chimica di , i mandrini in allumina con scanalatura anulare Semicorex presentano un'eccezionale resistenza alla maggior parte delle sostanze acide e alcaline, nonché a vari gas di processo corrosivi e sono altamente adatti alle difficili condizioni operative corrosive.

5. Pulizia eccellente

Grazie al rigoroso controllo della purezza del materiale e al trattamento di densificazione, i mandrini in allumina con scanalature anulari Semicorex raramente perdono particelle o rilasciano impurità durante il servizio, il che soddisfa pienamente i rigorosi standard di bassa contaminazione nelle camere bianche dei semiconduttori.

Perché scegliere Semicorex?

In qualità di azienda leader del settore in Cina, Semicorex è supportata da linee di produzione integrate e da un team tecnico di grande esperienza. Siamo in grado di offrire supporto tecnico su misura e soluzioni di processo ottimizzate ai nostri clienti e fornire loro una produzione personalizzata non standard dei nostri mandrini in allumina con scanalature anulari in termini di purezza del materiale, forma dei mandrini, dimensioni, planarità, tolleranze e altri requisiti.