Riscaldatori di nitruro di alluminio

I riscaldatori di nitruro in alluminio Semicorex sono elementi di riscaldamento in ceramica all'avanguardia progettati per applicazioni che richiedono conducibilità termica elevata, isolamento elettrico e durata eccezionale. Ingegnerizzati dalla ceramica di nitruro di alluminio, questi riscaldatori forniscono riscaldamento rapido e uniforme, rendendoli ideali per ambienti ad alta precisione come l'elaborazione dei semiconduttori, la diagnostica medica e la strumentazione analitica avanzata.

I riscaldatori di nitruro di alluminio sono componenti chiave nell'attrezzatura per la deposizione di film sottile a semiconduttore. Sono applicati direttamente alla camera di processo e in contatto diretto con il wafer. Non solo portano il wafer, ma assicurano anche che il wafer ottenga un 

Temperatura di processo stabile e uniforme. Questa funzione è essenziale per le reazioni ad alta precisione sulla superficie del wafer e sulla generazione di film sottili uniformi.

Tipicamente, i riscaldatori di nitruro di alluminio includono un substrato ceramico con una superficie di caricamento del wafer e un corpo di supporto cilindrico che lo supporta sul retro. Oltre a un circuito di riscaldamento resistivo per il riscaldamento, sono forniti anche un elettrodo RF e un elettrodo di Chuck elettrostatico e altri conduttori all'interno o sulla superficie del substrato ceramico.

L'attrezzatura per la deposizione di film sottile di solito utilizza materiali in ceramica basati sunitruro di alluminio (ALN)Perché coinvolge un ambiente ad alta temperatura. Il motivo per cui i riscaldatori di nitruro di alluminio sono favoriti nella produzione di semiconduttori è principalmente dovuto alle loro proprietà fisiche e chimiche uniche. Il nitruro di alluminio non ha solo un'elevata conduttività termica e può ottenere un rapido riscaldamento e raffreddamento in breve tempo, ma ha anche un buon isolamento elettrico e resistenza meccanica, garantendo la stabilità e l'affidabilità del riscaldatore. Inoltre, il coefficiente di espansione termica del nitruro di alluminio è simile a quello del silicio, che aiuta a ridurre l'impatto della stress termica sul wafer e migliorare la resa del processo.

In generale,Riscaldatori in ceramicasono utilizzati principalmente nelle attrezzature per la deposizione di film sottile. Poiché comporta processi ad alta temperatura, il materiale ceramico utilizzato è principalmente nitruro di alluminio; I manichini elettrostatici sono utilizzati principalmente nelle apparecchiature di attacco e il materiale ceramico utilizzato è principalmente ossido di alluminio. Con lo sviluppo della tecnologia dei semiconduttori, c'è una sovrapposizione tra riscaldatori in ceramica e Chucks elettrostatici. Ad esempio, i riscaldatori in ceramica utilizzati nelle apparecchiature di deposizione di film sottili sono dotati di manichini elettrostatici, che hanno le doppie funzioni di riscaldamento ad alta temperatura e adsorbimento elettrostatico. I manichini elettrostatici utilizzati nelle apparecchiature di incisione iniziano anche a coinvolgere processi ad alta temperatura e il materiale ceramico deve essere modificato dall'ossido di alluminio al nitruro di alluminio.