Piastre di base di montaggio in allumina

Le piastre di base di montaggio in allumina di semicorex sono prodotti in ceramica di alta purezza progettati come basi durevoli e stabili per i manichoni di lavoro di montaggio in attrezzature per la fabbricazione di semiconduttori. Queste piastre forniscono supporto meccanico critico e allineamento per le operazioni di elaborazione dei wafer come litografia, attacco, deposizione e ispezione. È essenziale allineare accuratamente il lavoro di lavoro con altri componenti del sistema per garantire che l'elaborazione del wafer possa verificarsi con la fedeltà richiesta. Le piastre sono prodotte attraverso tecniche di elaborazione specifiche per la ceramica per ottenere la piattalità necessaria, la durata ad alta temperatura e l'affidabilità a lungo termine per soddisfare i requisiti difficili della moderna fabbricazione di semiconduttori in entrambi gli ambienti di processo e delle camere pulite.

Le piastre di base di montaggio di allumina di semirex sono realizzate in alta puregyAluminaAvere un livello di purezza ≧ 99,5% (tipico). Un'allumina di alta purezza ha buone proprietà meccaniche e termiche e durezza. L'allumina di alta purezza ha eccellenti proprietà isolanti elettriche intrinseche che consentono anche queste piastre di essere utilizzate nel vuoto e applicazioni ad alta tensione in cui l'interferenza elettrica può essere un problema. L'allumina sarà resistente al ciclo termico, il che consente alle piastre di mantenere una migliore precisione dimensionale rispetto alla maggior parte dei materiali ed è utile per il mantenimento dell'allineamento o della stabilità strutturale a causa della ridotta espansione termica. Questo fattore è importante per garantire la ripetibilità di Chuck e le tolleranze di processo implicite, mentre operano su cicli di produzione estesi.

Nei sistemi di elaborazione dei semiconduttori, una piastra di base di montaggio non è semplicemente un dispositivo per il fissaggio meccanico. È il mezzo di contatto termico tra il mandrino e il resto dell'attrezzatura ed è fondamentale per la dissipazione termica, l'integrità strutturale e l'isolamento delle vibrazioni. Le azioni di elaborazione come (ma non limitate a) CVD, PVD o impianto ionico, in cui le alte temperature e le pressioni del vuoto sono all'ordine del giorno, richiedono una base di montaggio per essere termicamente resistente, chimicamente inerte e resistente, sana meccanicamente e resistente agli shock termici. L'inertezza chimica è vitale perché un supporto deve essere compatibile con i gas reattivi, nonché con la pulizia dei chimici, estendendo la vita utile del monte e prevenendo la contaminazione.

Ogni piastra di base di montaggio di allumina realizzata da Semicorex è lavorata a tolleranze richieste dagli OEM a semiconduttore e integratori di attrezzature. Le piastre sono lavorate a tolleranze strette per spessore, variazione di altezza e planarità per garantire la massima stabilità e ripetibilità. Queste piastre di montaggio possono essere realizzate con fori di montaggio, slot o contrattacoli per le specifiche dei clienti per ospitare meglio i mandrini del lavoro, le fasi meccaniche o altre attrezzature. La ceramica di allumina viene elaborata utilizzando le moderne tecniche di sinterizzazione e macinazione di precisione per ottimizzare una microstruttura uniforme e una qualità della superficie per garantire un contatto termico e un allineamento coerenti per l'uso nel tempo.

Le piastre di base di montaggio di allumina di semicorex vengono utilizzate in una varietà di applicazioni tra cui gestori di wafer, sistemi di trasferimento robotico, assemblaggi di mangimi per vuoto e stadi metrologici. Questa affidabilità e durata in una varietà di situazioni di processo impegnative, li rende il prodotto di scelta con i produttori di strumenti che cercano componenti ceramici robusti, duraturi e a bassa manutenzione. Il nostro gruppo di ingegneria collabora con i clienti per fornire soluzioni uniche specificate per ciascuna piastra per massimizzare l'efficienza per la produzione in un semiconduttore.

Le piastre di base di montaggio in allumina sono più di un semplice supporto meccanico; È un componente chiave nell'ingegneria di precisione nel settore dei semiconduttori. Con eccellente stabilità meccanica, purezza e configurabilità, assicurano un allineamento accurato, una lunga vita e un funzionamento affidabile in una vasta gamma di strumenti di processo. Per le piastre di base di montaggio ad alte prestazioni, soddisfacendo le alte aspettative dei produttori di semiconduttori di oggi, Trust Semicorex.