Bracci robotici Bernoulli in allumina

​I bracci robotici vengono applicati principalmente nei processi front-end della produzione di semiconduttori come la fotolitografia e l'incisione, dove partecipano direttamente alla movimentazione, al trasferimento e al posizionamento dei wafer semiconduttori. SemicorexalluminaI bracci robotici Bernoulli sono effettori finali in ceramica che ottengono l'adsorbimento e il trasferimento dei wafer in base al principio Bernoulli, offrendo prestazioni eccezionali in termini di pulizia, stabilità, precisione, efficienza e affidabilità.

Adsorbimento senza contatto

I bracci robotici Bernoulli in allumina Semicorex possono ottenere un adsorbimento stabile e senza contatto dei wafer utilizzando la loro configurazione appositamente progettata e il sistema di flusso d'aria. Questo metodo operativo senza contatto può evitare il contatto diretto con i wafer semiconduttori e prevenire notevolmente la contaminazione dei wafer o i danni causati dal contatto fisico, il che è particolarmente appropriato per le condizioni di lavoro ultra pulite e il delicato trasferimento dei wafer.

Prestazioni fisiche e chimiche affidabili

La ceramica di allumina presenta un'eccellente durezza e resistenza, rendendo l'allumina Semicorex Bernoullibracci roboticiadatto per la manipolazione a lungo termine di wafer semiconduttori senza deformazioni e danni.

I bracci robotici Bernoulli in allumina Semicorex offrono anche un'affidabile resistenza alla corrosione chimica e possono resistere ai gas corrosivi e agli ambienti operativi del plasma, mostrando una durata costante per un lungo periodo di tempo.

Controllo rigoroso della pulizia

I bracci robotici Bernoulli in allumina Semicorex sono realizzati con polvere di allumina di elevata purezza mediante pressatura isostatica di precisione e sinterizzazione ad alta temperatura. Questo preciso metodo di selezione e lavorazione dei materiali consente ai bracci robotici Bernoulli in allumina Semicorex di avere una struttura ceramica pura e densa. Ciò riduce significativamente i rischi di contaminazione dei wafer causati dalle impurità indesiderate derivanti dalle condizioni operative.

Controllo di precisione superiore

Rifiniti con levigatura e lucidatura precise, i bracci robotici Bernoulli in allumina Semicorex offrono un'eccezionale precisione dimensionale e una planarità superficiale superiore, che li rende altamente adatti per la produzione automatizzata di semiconduttori ad alta precisione. Inoltre, i bracci robotici Bernoulli in allumina Semicorex vantano un'eccellente stabilità termica anche quando sono esposti ad ambienti con forti sbalzi di temperatura, possono mantenere un eccellente posizionamento ripetitivo e precisione di movimentazione.