Flange di tenuta al quarzo

La funzione principale delle flange di tenuta al quarzo è quella di collegare e sigillare senza soluzione di continuità camere, tubazioni e forni di apparecchiature per garantire la stabilità delle connessioni tra le apparecchiature. Semicorexquarzole flange di tenuta, attraverso una rigorosa selezione dei materiali e una lavorazione ad alta precisione, sono giunti di tenuta affidabili. Possono isolare efficacemente le impurità esterne e le interferenze dell'aria, contribuendo così a creare un vuoto stabile e un'atmosfera di processo pura per i processi di produzione di semiconduttori core come incisione, deposizione, diffusione, ricottura e deposizione di film sottile.

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Eccellenti proprietà del materiale

Semicorex utilizza quarzo fuso a livello di semiconduttore di elevata purezza per produrre il nostroflange di tenuta in quarzo, dotandoli di prestazioni eccellenti dettagliate come di seguito:

1. Purezza del materiale estremamente elevata—— contenuto di elementi metallici estremamente basso (controllato per essere il livello di ppb).

2. Rilascio di gas con impurità a basso vuoto—— evitare il rilascio di gas impuri in eccesso che potrebbero interferire con il vuoto della camera.

3. Superiore resistenza agli shock termici—— adattandosi perfettamente al riscaldamento e al raffreddamento frequenti nell'ambiente di produzione di massa.

4. Robusta resistenza alla corrosione——  resiste efficacemente alla corrosione a lungo termine di gas di processo fortemente corrosivi, come i gas a base di F, a base di Cl e ossidanti.

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Soluzioni per la produzione di quarzo Semicorex

1. Precisione di lavorazione ad alta precisione

Prodotte attraverso una serie di processi di precisione, tra cui lavorazione di precisione in un unico pezzo, lucidatura a specchio della superficie, perforazione precisa dei fori e pulizia senza polvere, le flange di tenuta al quarzo Semicorex presentano un'eccellente planarità superficiale e una superficie di tenuta liscia, che si adattano perfettamente alla guarnizione di tenuta, garantendo una perfetta aderenza e un'eccellente tenuta all'aria.

2. Compatibilità flessibile

Semicorex supporta la produzione personalizzata non standard delle nostre flange al quarzo. Possiamo personalizzarne diametro, spessore, posizione e spaziatura dei fori, smussi di sigillatura e strutture di accoppiamento irregolari per garantire che siano pienamente compatibili con le principali apparecchiature di lavorazione dei semiconduttori.

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Principali applicazioni

1. Collegamenti a tenuta sotto vuoto per apparecchiature di elaborazione di chip logici e chip di memoria

2. Accoppiamento flangia per camere di apparecchiature per la deposizione di film sottile PECVD, ALD e PVD

3. Sigillatura delle tubazioni sotto vuoto per macchine per incisione al plasma

4. Collegamenti dei tubi del forno per forni ad alta temperatura, come forni a diffusione e forni di ricottura

5. Accessori per processi produttivi di dispositivi di potenza SiC o GaN

6. Accessori per apparecchiature per vuoto ad alta temperatura nei laboratori di semiconduttori

7. Sigillatura sottovuoto di precisione per apparecchiature di trattamento di sostanze optoelettroniche

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Domande frequenti

1. Come è possibile ottenere rapidamente un preventivo?

La condivisione delle informazioni sui materiali, dei disegni, delle dimensioni e degli ambienti di lavoro richiesti aiuta a fornire rapidamente un preventivo.

2. Quanto dura la consegna delle flange con tenuta al quarzo?

Ciò dipende dalla quantità dell'ordine e dal nostro programma di produzione.

3. Quali sono le limitazioni d'uso per le flange di tenuta al quarzo?

Si prega di evitare l'immersione prolungata in acido fluoridrico ad alta concentrazione, l'impatto istantaneo sotto pressione ultraelevata e l'impatto o la compressione meccanica grave.