Tubi interni del forno al quarzo

I tubi interni del forno in quarzo Semicorex sono comunemente posizionati all'interno dei tubi del forno esterno nei sistemi dei forni di processo e funzionano per isolare l'ambiente esterno dall'area di lavorazione dei wafer, bilanciare la distribuzione termica all'interno del forno e consentire la guida del flusso di gas stratificato nonché una rapida sostituzione del gas di processo. Progettati per risolvere i punti critici del processo, come il drogaggio irregolare dei wafer, le deviazioni nella deposizione di film sottile e la scarsa consistenza dell'ossidazione causata da un flusso di gas non uniforme, differenze di temperatura eccessive e atmosfera disordinata del forno, i tubi interni del forno al quarzo Semicorex soddisfano perfettamente i rigorosi requisiti di processo della lavorazione di precisione dei wafer.

Perché scegliere Semicorex?

1. Vantaggi produttivi

I tubi interni del forno in quarzo Semicorex sono realizzati con precisionequarzo a livello di semiconduttoreattraverso una serie di lavorazioni, tra cui ricottura di distensione ad alta temperatura, trafilatura integrale di precisione del tubo, calibrazione accurata delle dimensioni del tubo, molatura uniforme delle pareti, passivazione e lucidatura delle estremità del tubo, nonché pulizia senza polvere. I nostri tubi interni per forni in quarzo presentano le seguenti eccezionali caratteristiche:

• Dimensioni precise dei componenti

• Rigoroso controllo delle tolleranze

• Spessore della parete uniforme

• Integrazione fluida e senza soluzione di continuità

• Esente da bolle, bave e stress interni

• Struttura del flusso di gas senza ostacoli

• Contaminazione particellare estremamente bassa

• Opzione personalizzata flessibile

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2. Punti di forza delle prestazioni dei materiali

Fabbricato con materie prime di altissima purezza, Semicorextubi interni del forno in quarzofornire molteplici prestazioni immobiliari eccellenti dettagliate come di seguito:

• Purezza del materiale estremamente elevata—— evitando la contaminazione indesiderata di impurità metalliche.

• Resistenza superiore alle alte temperature—— soddisfacendo pienamente i requisiti del processo di trattamento termico.

• Stabilità termica affidabile—— adatto a cicli continui di riscaldamento e raffreddamento.

• Robusta resistenza alla corrosione—— resistere stabilmente alla corrosione chimica, al bombardamento di plasma e all'erosione dei gas di processo.

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Principali applicazioni

I tubi interni del forno al quarzo Semicorex sono adatti per la produzione in serie di standard elevati di wafer semiconduttori e ampiamente applicati in forni a diffusione verticale o orizzontale, forni di ossidazione ad alta temperatura, forni di ricottura sotto vuoto, forni di deposizione LPCVD e apparecchiature per il trattamento termico tubolare dei semiconduttori.

Domande frequenti

1. Quali scenari operativi dovrebbe evitare questo prodotto?

Evitare l'immersione prolungata ad alta temperatura HF, la corrosione calda del CPA, gli urti pesanti, la piegatura e la compressione.

2. Come mantenere e pulire questo prodotto?

È severamente vietato raschiare o smerigliare la parete del tubo con strumenti duri per la pulizia; prima dell'installazione e del riutilizzo, pulire accuratamente con la soluzione ad elevata purezza miscelata con wafer ultrapuro.

3. Come posso ottenere la soluzione di produzione personalizzata?

Inviaci il tuo disegno dettagliato, i requisiti dei materiali e le condizioni operative all'indirizzo e-mail sul nostro sito web.